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第 卷第 期 半 导 体 学 报 23 7 VOl. 23 NO. 7 年 月 2OO2 7 2OO2 CHINESE JOURNAL OF SEMICON UC ORS Jul 一种新的不受寄生电容影响的电容式 传感器接口电路 曹新平 张大成 黄 如 张 兴 王阳元 北京大学微电子学研究所 北京 ( 1OO871) 摘要 给出了一种新的用于微小电容检测的接口电路 在电荷传送电路的基础上 引入了一个用于参考微变电容读 : . 出的电荷传送电路部分 将检测电路与参考电路的输出进行差分放大 从而大大提高了电路的稳定性和检测灵敏 度 同时此电路也保持了电荷传送电路检测微小电容变化不受寄生电容影响的特性. 关键词 微变电容 电荷传送电路 接口电路 : ; ; EEACC : 723O ; 129O 中图分类号: N 43 文献标识码: A 文章编号: O253-4177(2OO2) O7-O762-O4 同而不随被检测量变化的参考微变电容 基于此点 . 1 引言 可在以电荷传送电路为接口的微变电容式微传感器 系统中引入参考微变电容及相应的电荷传送读出电 电容式硅微传感器系统被广泛应用于机车 医 路 通过将此电路部分的输出与检测电路部分的输 ~ 疗和工业控制等领域 检测电容和信号处理电路的 出进行差分放大 即可获得工作点不随基准电压及 接口是此类微系统设计的主要问题之一 在很多情 检测电容初值变化 并具有较高分辨率的输出信号. 形下 接口决定了微传感器系统对检测量的分辨率 此外 新的接口电路保持了电荷传送电路不受寄生 .