光电子放大的X射线全息实时成像系统-上海光机所.PDFVIP

第28 卷 第1 期 核 技 术 Vol. 28, No.1 2005 年1 月 NUCLEAR TECHNIQUES January 2005 光电子放大的X 射线全息实时成像系统 1,2 1,2 1 1 1 高鸿奕 陈建文 朱化凤 李儒新 徐至展 1 （中国科学院上海光学精密机械研究所 上海 201800 ） 2 （上海微电子装备有限公司 上海 201203 ） 摘要 本文介绍一种将同步辐射X 射线成像与电子光学显微技术结合起来的实时记录方法。通过加速阳极对 电子束的加速，控制其波长，再经过一个中心对称的电磁透镜系统的放大，最后到达CCD 记录并输出，通过 计算机实时重构出高分辨率的显微图像。该放大系统还可以应用到同步辐射的X 射线相衬、显微和层析方面。 对同步辐射应用技术的发展将产生不可估量的影响。 关键词 光电子，全息显微， 数字重构，同步辐射 中图分类号 O434.19 ，O462.3，O438.1 近年来，由于同步辐射技术的快速发展以及高 1 X 射线全息成像技术的发展现状 亮度X 射线激光器的问世，同步辐射在生命科学、 目前的软X 射线全息图像的记录方法主要是 医学成像、材料结构分析、化学、微电子技术、核 盖柏同轴 X 射线全息[3]和无透镜傅立叶变换 X 技术和环境科学等领域的研究已经在全世界广泛开 射线全息两种。前者记录方式简单易行，只要一 展。在同步辐射X 射线成像技术方面，已开展了X 个合适的光源及记录介质即可。全息图记录后 射线显微、相衬和软X 射线全息等方面的深入研究， 必须用高分辨率的透射电子显微镜或原子力显 获得了一些令人鼓舞的进展。X 射线相对于其它电 微镜进行读出放大，再通过重构，再现物体的 磁波或物质波[1]而言具有高穿透率、低散射的特性， 波前。用以上方式获得的最好结果是40 nm 分辨 然而它所面临的问题是：缺乏有效的光学元件和高 [4,5] 率 。 分辨率的实时记录介质，不能像可见光或电子束那 另一种如图 1 所示，是美国Brookhaven 实 样可以任意被放大和实时观测与记录，这严重制约 验室记录 X 射线无透镜傅里叶变换全息图的光 了X 射线优势的充分发挥；对电子束而言，电子显 [6] 路 。 微技术目前已经发展到能分辨0.1 nm 的水平，但由 1 2 3 4 5 6 于其穿透深度局限在 1 µm 以下，且对观测对象有 着苛刻的要求，也削弱了它高分辨率优势的充分发 挥。 Hwu 等人[2]于 1999 年曾提出用光电子发射显 微镜来代替胶片，作X 射线成像的探测器，获得了 微米量级的分辨率，但没有具体的描述。本文设计 了一种将X 射线全息图通过光电子转换屏即光阴