WA-200 校准测试作业流程.pdfVIP

WA200操作简述 少子寿命测试 1．打开 upcd 软件，点击 stop 进入静态测试模式  2．放入硅片，点击进入 Record 界面，点击 Autosetting 按钮进行参数自动设置  需注意要将 Average 改成 16 以下。  3．完成后点击start 进入连续测试模式  4 ．双击马达控制软件，设置好速度（一般为 200 ）放片即可测试。  5 ．点击 Linescan 观察曲线情况，在曲线上点击右键选择 Skip Edge 进行边缘剔 除，会连续弹出两个对话框，第一个是前部剔除，第二个是后部体剔除。 边缘调整好之后可以正常测试。  厚度电阻率模组 1,校准时要先点击 stop 按钮    校准片放入探头，点击 Calibrate Thickness    取出校准片，点击 compensate Resistivity，点击 new 所有参数变为 Na    放入校准片，点击 new  ，所有参数有值，点击 calibrate resistivity     取出校准片，点击 start    观察 Linescan 中的曲线，进行边缘剔除Skip Edge 和 Average 调整。    在 options 中save measurement setting  2．有时皮带正常运行，模组却没有进行测试可能是以下几个原因     2.1 start 按钮没有点击‐‐‐‐‐‐‐‐‐‐点击 start 按钮     2.2 Average 的数值太高‐‐‐‐‐‐‐‐‐调低 average 的值，可以调整到 8 或 16     2.3 边缘剔除 Skip Edge 值太多，导致测试时间过短‐‐‐‐‐‐将 skip edge 的值当 减小     2.4 调整过皮带传输速度而没有更改 Average 及 Skip Edge 等参数‐‐‐‐‐‐进行适 当的修改     2.5 如果测试时信号灯没亮，模组的测试信号传感器位置不对‐‐‐‐‐‐适当调整  方块电阻测试 打开sheet 软件 如已经校准无需调整，打开马达控制软件。直接即可测试。 如未校准请按下述步骤校准后测试。 3.1 点击stop 进入静态测试模式， 3.2 准备两片已知方块电阻的样片，阻值尽量分别接近测试的上 下限； 3.3 对探头进行补偿，点击compensate\current head 出现如下图所示： 3.4 补偿结束后将第一片校准品置入测试台点击expert Calibrate 进行校准 点击Add 输入校准片的方块电阻值，点击ok 即可。 重复上述步骤，将第二片的数据输入，校准即完成。 3.5 在Options\save measurement setting 进行保存 3.6校准过后点击start 进入连续测试模式 3.7 打开马达控制软件，输入速度即可测试。