国立中央大学光电中心E-beamwriterII电子束微影设备使用规范.PDFVIP

國 立 中 央 大 學 光 電 中 心 E-beam writer II 電子束微影設備使用規範 991126 修訂 一、目的：為維持本實驗室正常運作且發揮其最大功能，特訂定此管理辦法，供使用者依循。 二、設備型號：RAITH150-TWO 三、使用者等級及權限： 各級使用者權限 使 用 者 權 限 1. 訓練 B、T 級使用者之權利義務。 A 級使用者 2. 擁有自己之帳號且有二十四小時全天候之操作資格。 3. 協助儀器負責人進行機台 maintain 。 1. 訓練 T 級使用者之權利義務 。 B 級使用者 2. 具有 Operator 之權限。 3. 擁有自己的帳號只有上午九點到晚上十一點之使用資格。 1. 須有合格使用者陪同，始可操作儀器。 T 級使用者 2. 已通過潔淨台資格考，並填寫儀器操作訓練申請表 B 表。 委託操作者 由儀器負責人指定 B 級以上人員操作。 四、訓練考核申請須知 凡每位欲成為合格使用者必須先通過微光電實驗室潔淨台操作資格考方可提出訓練申請 表，申請表格同微光電實驗室之 B 表，並依規定詳實填寫。 B 表簽名流程如下: 指導教授簽名→行政研究員蓋章→儀器負責人簽名→正式累積訓練紀錄→完成訓 練後請訓練員簽名(訓練員請自行安排)→檢定員考核並簽名→○7 儀負合格簽證。 **若訓練過程有嚴重失誤行為，除依”相關規定及懲處”外，該次失誤操作(含)之前訓練次數不 計入考核計算，必須重新計算。 訓練考核標準流程： 1. 經過三個月訓練後即有考核資格。 2. 在三個月之訓練中每個月必須觀看六次操作(不限定是訓練員)且在訓練員陪同下進行四次 操作。 3. 在開始接受訓練後必須參加每週的會議。 4. 若有特殊狀況(想提早得到資格)須得到儀器負責人及微光電實驗室負責人之同意即可。 升級須知(B 級A 級)： 取得機台使用資格，再經過二個月之使用後，向儀器負責人提出需求，經儀器負責人判定使 用者確實有升級之必要，即可升級。(使用者若在使用時有不良之紀錄，則永遠無法提出升級 需求，以避免機台受損)。 合格者須知： 通過檢定之使用者若於三個月內未申請操作則自動降一級使用資格，上機時間則重新累計。 若因故被取消使用資格，則須再通過考核，才可恢復使用資格。 人員定義： 訓練員：具有合格使用資格者。 檢定員：儀器負責人或微光電實驗室指定已具合格使用資格者。 五、相關規定及懲處： 1. 使用者在每次使用時須先檢查機台狀況才允開始操作。 2. 若預約時段之前無人使用可提前使用，而下個時段若有人預約請與預約者協調，最多不可 延長超過一小時。 3. 刷入卡之名字須與使用者相符，訓練 T 級使用者時例外，違者將以除權論。 4. 若為 T 級使用者之訓練時段，則訓練員須全程參與。若查到僅有 T 級使用者操作，將連同 處分訓練員。 5. 每位得到權限之使用者需盡打掃之義務。 6. 操作機台須詳細填寫紀錄單。若發生機台異常須詳細填寫狀況及初步危機處理且盡快通知 儀器負責人處理，若延遲申報或繼續操作造成績台毀損，即視為該使用者之責任，必須接 受懲處及賠償機台之損失。 7. 若有刻意破壞儀器或私下接受委外操作牟利之行為必須負起所有修復之責任且永久取消 其使用資格並提報該指導教授與實驗室負責人另議懲處。 8. 機台不允許進入有外露金屬之樣品，以避免機台腔體之汙染。 9. 機台僅能進入 4 吋(含)以下之 wafer。