扫描电声显微镜中干扰信号及假信号的预防-无机材料学报.PDFVIP

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 日 , ’ 扫 描 电声 显 微镜 中干 扰 信 号及 假 信 号 的预 防 张冰 阳 江 福 明 杨 阳 惠森 兴 姚 烈 殷 庆 瑞 中 国科 学院上 海硅 酸 盐 研 究所 无 机 功 能 材 料 开 放 实验 室 上 海 摘 要 本文对扫 描 电声显微镜 电声成像 中出现 的干扰信 号 以及假信 号 的产 生进 行 了讨论 指 出扫 描 电声 显微镜 设备周 围存在 的高强度 电场 、 磁场 、 高频设备和 仪 器本 身 的接地 是 造成干扰信号 出现 的主要 原 因, 同时给 出 了一种 能有 效 防止 以上干扰 的样 品 一 探 测器 组 件 结构 而在 电声像 中假信号产 生 的原 因则主要是 由于 样 品和 探 测器接地 不 当所 引起 在进行 电声成像观 察和 记录 时最好关掉 电镜 的对 比度旋钮 关 键 词 干扰信号, 假信号, 扫描 电声显微镜 弓言 , , 扫描 电声显微镜 自从 问世 以来 , 其成像实验 技术得 到 了长足 的发展 在 众 多材料 如 金属 、 半导体 、 功 能材料 以及 陶瓷材料 等 中得 到 了广 泛 的应用 并且 日益 显示 出其独 特 的成像本领 如对 样 品 的亚表 面缺 陷研 究 , 】、 金属 和 陶瓷材料 由压 痕 引起 的残 余应力 场 、 分布 的研 究 , 铁 电陶瓷和 单 晶材料 中 电畴结构 的直接观察和 显示 , 我 们在 中 国科 学 院科 学仪 器 厂 生 产 的 型 扫 描 电镜上研 制 改装 成 了扫 描 电声显微镜设 备 , 经过近 几年 的逐步 完 善与发展, 已成功地对多种材料 如 金属 、 结构 陶 、 和 了扫 了 的实 【 瓷 功 能材料 半导体材料 等 进行 描 电声成像实验 并且获得 很好 验 结果 , 由于扫 描 电声显微镜是集 电子光学技术 、 弱 信 号检测 技术 以及 高灵 敏度 的压 电传感 技术于 一体 的弱信号检测 与成像设 备, 因此 它要求设 备要 有很 高 的信 噪 比 否则 , 杂散信号 的干 扰 、 假信号 的引入将会造成信 噪 比降低, 所成 电声像模糊 , 或者在 电声像 中掺进很 大 的假 信号 因此 , 如何有效地 降低杂散信号