操作手册（中文）-Products-INFICON.PDF

XTC 使用说明书 第 1 页 共 162 页 XTC/C XTC/2 薄 膜 镀 层 控 制 仪 使 用 说 明 书 IPN 074 - 183M 1 XTC 使用说明书 第 2 页 共 162 页 第 二 章 快 速 使 用 指 导 内 容 2.0 快速使用指导 2.1 开箱，初验和清单 2.1.1 开箱和验收步骤 2.1.2 清单 2.1.2. 1 XTC/2 的系统配置 2.1.2.2 XTC/C 的系统配置 2.1.2.3 XTC/2 XTC/C 附件 2.2 电压选择 2.3 安装指导和图示 2.4 XTC/2 面板说明 2.4.1 XTC/2 控制面板说明 2.4.2 XTC/2 显示器说明 2.5 XTC/C 面板说明 2.6 后板说明 2.6.1 电源组件 2.6.2 配置开关 1 和 2 2.6.3 接地螺栓 2.6.4 系统 I/O 2.6.5 AUX I/O 2.6.6 传感器 1，传感器 2 2.6.7 RS 232 2-i 2 XTC 使用说明书 第 3 页 共 162 页 2.6.8 通讯选件 2.6.9 源 1，2 2.6.10 制造厂标识和系列号牌 2.6.11 记录仪 2.7 用作镀膜监测仪 2.7.1 监测 – 无源挡光器的系统 2.7.2 监测 – 有源挡光器的系统 2.7.3 速率取样 2.7.4 非常规应用 2.7.4. 1 刻蚀 2.7.4.2 浸入液体中 2.7.4.3 生物 2.7.4.4 测量液体 2.8 用作单层膜控制器 2.9 用作多层膜控制器 2-ii 3 XTC 使用说明书 第 4 页 共 162 页 2.0 快速使用指导 2.1 开箱，初验和清单 2.1.1 开箱和验收步骤 1. 如您还未从包装箱中取出仪器，现在请开箱。 2. 仔细检查仪器在运输过程中有无损伤。这是尤其重要的，检查外纸箱有无明显 的野蛮搬运迹象。如发现任何损伤，请立即向INFICON 和运输公司报告。 3. 在按装箱单详细检查与仪器满意运行前，切勿抛弃包装材料。有关电压选择见 2.2 节。有关测试模式运行见 3.6 节。 2.1.2 清单 按下面的清单检查包装箱内是否已包含您所需要