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- 2017-06-06 发布于天津
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电子束蒸发氧化钛薄膜的化学成分与显微结构
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2010 78 CHINESE JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY 401
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蔺 增 王 永 韩永超 巴德纯 刘春明
( 1 110004; 2 110004)
Growth and Characterization of Titanium Oxides Films
Deposited by Electron Beam Evaporation
1, 2* 1
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