电子能谱分析方法概述.pptVIP

材料分析测试技术绪论 材料分析测试技术 材料分析检测技术 引言 1 衍射分析方法概述 2 电子显微分析方法概述 3 电子能谱分析方法概述 4 光谱分析方法概述 5 1 引言 材料现代分析方法是关于材料成分、结构、微观形貌和缺陷等的现代分析、测试技术及其有关理论基础的科学。 材料现代分析、测试技术的发展，使得材料分析不仅包括材料（整体的）成份、结构分析，也包括材料表面与界面分析、微区分析、形貌分析等诸多内容。材料现代分析方法也不仅是以材料成分、结构等分析、测试为唯一目的，而是成为材料科学的重要研究手段，广泛应用于研究和解决材料理论和工程实际问题。 基于电磁辐射及运动粒子束与物质相互作用的各种效应所建立的各种分析方法已成为材料现代分析的重要组成部分，大体可分为光谱分析、电子能谱分析、衍射分析和电子显微分析等四大类方法。此外，基于其它物理性质或者电化学性质与材料的特征关系建立的色谱分析、质谱分析、电化学分析以及热分析等方法也是材料现代分析的重要方法。 材料分析是通过对表征材料的物理性质或物理化学性质参数及其变化（称为测量信号或者特征信息）的检测实现的。换言之，材料分析的基本原理（或者技术基础）是指测量信号与材料成分、结构等的特征关系。采用不同的测量信号形成了各种不同的材料分析方法。 1 引言 衍射分析方法是以材料结构分析为基本目的的现代分析方法。衍射分析包括X射线衍