电子显微小结及作业.ppt

材料分析与测试技术 材料研究与测试方法 电子显微分析小结及作业 1.电子显微分析定义、类型、特点 2.分辨率 3.球差、色差、像散 4.场深、焦深 电子显微分析基本概念 二次电子 背散射电子 俄歇电子 X射线 阴极荧光 透射电子 入射电子束 入射电子产生的各种信号的深度和广度范围 电子束与固体物质作用产生信号及作用体积 电子束与固体物质作用产生的信号比较 分辨率(nm) 能量范围（ev） 来源 可否做 成分分析 应用 背散射电子 弹性 50~200 数千~数万 样品表层几百nm 可以 成像、 成分分析 非弹性 数十~数千 二次电子 5~10 小于50ev，多数几个ev 表层5~10nm 不能 成像 透射电子 成像、 成分分析 特征X射线 100~1000 1mm 可以 成分分析 1.透射电镜电子光学系统结构 2.透射电镜基本成像方式及原理 3.单晶、多晶电子衍射花样形成及特点 4.质厚称度、衍射称度、相位衬度定义及应用 透射电子显微分析 1.扫描电镜原理及结构 2.扫描电镜基本信号及应用 3.形貌衬度、原子序数衬度 4.扫描电镜样品的制备 扫描电子显微分析 1.电子探针原理 2.电子探针基本信号 3.电子探针工作方式 4.能谱仪和波谱仪区别 电子探针显微分析 作 业 1.电子束与固体物质作用产生哪些信号？各种信号的作 用深度？ 2.用何种方式可以