课程时间表1330︱1340主持人致词台南大学材料科学系林宏一系.docVIP

課程時間表 13:30 ︱ 13:40 主持人致詞 台南大學 材料科學系 林宏一 系主任 時間 主題 儀器 師資 1:40 ︱ 14:00 製程 薄膜微影製程 電子束蒸鍍機 II (New E-beam Evaporator) 磁控濺鍍機 I (The DC Magnetron Sputter Deposition; Old Sputter) 超高真空離子束濺鍍機 , IBS 分子束磊晶系統 Veeco Gen II (MBE) 單面光罩對準機 (Single-Side Mask Aligner) 反應離子蝕刻機 (Reactive Ion Etching; RIE) 奈米壓印-UV光感成型式奈米轉印機 U V Imprinting 旋轉塗佈儀 (Spin Coater I) 張超群 14:00 ︱ 14:20 檢測 機械 奈米三維量測儀及奈米薄膜材料試驗機 (MTS Nano-indentation system Nano-mechanical microscopy XP;MTS XP) 奈米壓痕試驗機 (MTS Nano Indenter G200) 原子力顯微鏡 AFM (Atomic Force Microscope)-P7LS 表面粗度儀 (Alpha-Step Profilometer) 吳博雄 休息 時間 主題 儀器 師資 1:30 ︱ 14:50 檢測