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采用环形岛棱结构的电容式压力传感器.PDFVIP

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  • 2017-06-06 发布于天津
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采用环形岛棱结构的电容式压力传感器.PDF

    采用环形岛棱结构的电容式压力传感器

    第 卷 第 期 光学 精密工程 １７ ６ 　 Ｖｏｌ．１７ Ｎｏ．６ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００９ ６ Ｊｕｎ．２００９ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００９０６１３８５０６ 　

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