世纪地光学和光电子学讲座.PDFVIP

讲 座 世纪的光学和光电子学讲座 第二讲 硅基发光材料和器件研究3 陈 维 德 中国科学院半导体研究所 北京 摘 要 硅基发光材料和器件是实现光电子集成的关键 文章评述了目前取得较大进展的几种主要 硅基发光材料和器件的研究 包括掺饵硅 多孔硅 纳米硅以及 等超晶格结构材料 展望了这些 ≥≥ 不同硅基发光材料作为发光器件和在光电集成中的发展前景 关键词 硅基发光材料 硅基发光器件 光电集成 ΣΙΛΙΧΟΝΒΑΣΕΔΛΙΓΗΤ ΕΜΙΤΤΙΝΓ ΜΑΤΕΡΙΑΛΣΑΝΔ ΔΕςΙΧΕΣ ≤ • (Ινστιτυτεο Σεμιχονδυχτορσ,ΤηεΧηινεσε Αχαδεμ ο Σχιενχεσ,Βειιν ) φ ψ φ ϕ γ Αβστραχτ ≥ √ 2 × 2 √√ ∏ ∏∏2 ≥≥ ∏∏∏× √∏∏√ Κε ωορδσ ≥ ≥ √ ψ 在硅材料上发展起来的集成电路已成为发 跃迁到价带顶 这种间接跃迁的几率非常小 所 展电子计算机 通信和自动控制等信息技术的 以硅的发光效率很低目前发光器件主要采用 ! 关键 随着信息技术的日益发展 对信息的传递 和 等 族化合物半导体材料 它 ° ∏ 速度 储存能力 处理功能提出更高要求 但 们的发光效率比硅高 万倍 但是 等 ! ! ≥ 集成电路受到器件尺寸和 中电子运动速度 ∏族化合物的化学和物理特性与硅不同 ≥ 的限制 如果能在硅芯片中引入光电子技术 用 与硅集成工艺也无法兼容