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MEMS 传感器现状及应用 王淑华 (中国电子科技集团公司 第十三研究所, 石家庄　0500 51) :M EM S 传感器种类繁多, 发展 猛, 应用广泛。 首先, 简单介绍了M EMS 传感器的分类 和典型应用。 其次, 对M EMS 压力传感器、 加速度计和陀螺仪三种最典型的M EM S 传感器进行 了详细阐述, 包括类别、 技术现状和性能指标、 最新研究进展、 产品, 及应用情况。 介绍 MEM S 压力传感器时, 给出了国内外采用新型材料制作用于极端环境下压力传感器的研究情况。 最后, 从新材料、 加工和组装技术方面对MEM S 传感器的发展趋势进行了展望。 :微电子机械系统 (M EMS );传感器;加速度计;陀螺仪;压力传感器 :TH703 　:A 　:1671-477 6 (20 11)08-0516-07 Current Status and Applications of MEMS Sensors