PIN结光电二极管的工艺原理和制造_张健亮.pdfVIP

下载本文档

43
0
约1.2万字
约 3页
2017-06-07 发布于浙江
举报
版权申诉

PIN结光电二极管的工艺原理和制造_张健亮.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

PIN结光电二极管的工艺原理和制造_张健亮

中国集成电路器件与工艺 !! !#$%’$()*+%(),!#+-.’( = 结光电二极管的工艺原理和制造 !#$ !# %’()*+ ,- . /0 1 ,- .$ %;4=?@567ABCDE FGHIJKLMNOPQRS $% 23TU =56789:VRTU=WX’S YZ[\ ] $% 23TU =567T’(;^_‘a bc Ad e‘afc ghiTjk S % !# $% ! #$%’()*+ 的’ 特性当!$ 管两端加上正向的偏压后 ! 结和结的势垒降低区空穴和区电子不断注 $ ! $ 光电探测器是一种通过光电效应探测光信号的入到区不断复合注入的电子和空穴使区电导器件% % 增加 % 而光敏二极管就是一种典型的光电探测器光呈现出低阻抗当!$ 管两端加上反向的偏压敏二极管有些类似于太阳能电池特别是在结构上后耗尽层宽度变大区耗尽层随电压增加更快 ’ % % 但在设计应用和工作状态等方面有不同之处太阳这时的!$ 管相当于一个平行板电容器能电池不加偏置电压在光照条件下势垒区处于正本产品主要是应用在反向偏压下!$ 结二极管偏状态且太阳能电池需要在很宽的太阳光谱中取亮暗电流的明显变化来实现对电路的开关作用其得较高光谱响应% 而光敏二极管则是在可见光或近反向电流( 如下面的方程所示% 红外光波段作探测使用通常工作在反偏状态下以 % !% * * ( ) + , 缩短光生载流子的传输时间减小结电容提高响应