基于电流密度在线监控的电镀工艺过程控制系统.pdfVIP

第 39卷 第 1期 2010年2月 表面技术 VO1．39 No．1 Feb．2010 SURFACETECHNoLoGY 基于电流密度在线监控的电镀工艺过程控制系统 杜贵平 ，李雄涛 ，姜立军 (1．华南理工大学，广州 510640；2．广州电器科学研究院，广州 510300) [摘 要] 针对电镀过程中由人为因素所引起的能耗 问题 ，为提高镀件质量，节能降耗，研制 了一种以高频 开关电镀 电源为核心的基于电流密度在线监控的电镀工艺过程控制系统。该系统 由上位机 、电流密度采集系统 和数字化电镀电源装置组成，实现了电流密度的在线检测与控制 。镀层变化和系统能耗 实验表明：该系统实现 了 电镀工艺工程能量的合理配置，在额定输 出范围内具有较低的单位能耗和较高的效率 ，工艺质量优 良，对不同规 格的电镀工件具有广泛的适应性。 [关键词] 电流密度 ；在线监控 ；单位能耗 [中图分类号]TQ150．6 [文献标识码]A [文章编号]1001