多工位组合电极电火花成形微凹槽结构.pdfVIP

第 23卷 第 12期 光学 精密工程 V01．23 No．12 2015年 12月 OpticsandPrecisionEngineering Dec．2015 文章编号 1004—924X(2015)12—3371—07 多工位组合 电极 电火花成形微凹槽结构 宋满仓 ，李文明 ，刘 莹 ，刘 冲 (1．大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室，辽宁大连 116024； 2．三菱电机大连理工大学 电加工技术中心，辽宁大连 116024) 摘要：针对具有复杂微尺度凹槽结构的高硬度模具钢型腔难 以加工的难题，提出了一种多工位组合电极电火花成形的新 方法 。以某种聚合物微流控芯片模具型腔为研究对象，选用 NAK80模具钢为型腔材料 ，铜钨合金 (W75 )为相应 的微 凸起结构电极材料并经 由高速铣削加工 。为降低加工难度及保障加工质量 ，对复杂微凸起结构进行分解 ，形成 2组 4工 位组合电极 ；采用周铣、端铣交替进行的工艺使微 凸起上表面的毛刺连续发生塑性变形从而减小和去除微凸起结构顶端 的加工毛刺 。最后 ，利用制备好 的多工位组合电极，采用变换工位代替更换 电极的加工方式，通过精密电火花成形，依 次完成粗、半精与精加工 。结果表 明：加工的凹槽侧壁与底面垂直度较好 ，宽度 、高度误差在 3,urn以内，根部圆角在 15 m 以内，可以满足成型聚合物微流控芯片的使用要求。 关 键 词 ：微凹槽结构 ；微尺度型腔 ；多工位组合 电极 ；高速铣削；去毛刺 ；电火花成形 中图分类号：TG661 文献标识码 ：A doi：i0．3788／OPE3371 M icrogroovestructurewithmulti-stationcombinationelectrodebyEDM SONG M an—cang孙 ，LIW en—uring ，LIU Ying ，LIU Chong (1．KeyLaboratoryforPrecisionandNon-traditionalMachiningTechnologyoftheMinistryofEducation， DalianUniversityofTechnology，Dalian116024，China； 2．M ITSUBISH-DUT，ElectricalDischargeMachiningTechnologyCenter， DalianUniversityofTechnology，Dalian116024，China) *CorrP 0 gauthor，E-mail：mcsong@dIut．edu．cn Abstract：Asacomplexmicrogroovecavitymadeofmold steelwithhighhardnessisdifficulttobe machined，akindofelectricaldischargemachiningmethodbyuseofamulti——station combinationelec‘‘ trodeisproposed．Thecavityformicrofluidicchipmoldingisselectedasresearchedobject，NAK80 asthecavitymaterial，andcopper—tungstenalloy (75 W )asthematerialofthecorrespondingelec— trodewithamicroconvexstructuremanufacturedbyHighSpeedMilling(HSM )．Toreduceprocess— ingdifficultyand ensureprocessingquality，thecomplexmicroconvexstructureisdecomposedinto tWOgroupsoffour—stationcombinationelectrodes．Byalternatingperipheralmillingandend