准分子激光深层光刻蚀在LIGA工艺中的应用.pdf

第6卷　第2期 光学　精密工程 . 6, . 2 V o l N o 1998年4月 O P T IC S AN D PR EC IS ION EN G IN EER IN G A p r il, 1998 准分子激光深层光刻蚀在 L IGA 工艺中的应用 沈蓓军　　王润文　　路敦武　　黄惠杰 ( 中国科学院上海光学精密机械研究所　　上海 20 1800) 　　摘要　介绍了一种用于准分子激光深层光刻实验装置的设计, 并将该装置成功地 应用于L IGA 工艺的深层光刻中, 光刻实验表明准分子激光层光刻具有很大的实用意 义。 关键词　　微机械　微细加工　L IGA 工艺　光刻 1　引　　言 　　八十年代末期国际上在微机械电子学方面出现了一个新的势头, 人们正研究利用集成电 路微细加工技术将机构及其驱动器、传感器、控制器、电源集成于仅几立方毫米的硅片上而获 得完备的机电一体化的微电子机械系统, 它可广泛应用于农业、工业、航天、军事、医疗、航海等 各个领域, 对机械电子行业将带来巨大的影响。随着微电子机械系统研究的深入, 现有的集成 电路微细技工技术因其二维平面微细加工特性和加工材料单一等因素的限制已越来越表现出 具有很大的局限性, 已满足不了微电子机械系统三维立体微细加工的需求。1987年西德K ar l 核研究中心的微结构技术研究所研究出一种新型的三微微细加工工艺—— 工艺 sruh e L IGA [ 1 ] ( ) ( ) 技术用于对微结构元件的制作 , L IGA 是德文光刻 L itho g raf ie 、电铸 Ga lvano fo rm un g 、 模铸( ) 的缩写, 工艺技术主要包括三个工艺过程: 深层同步辐射软 射线光 A b fo rm un g L IGA X 刻、电铸成型及铸塑。 由于L IGA 工艺本身的特点, 它可以用来制作各种材料如: 塑料、金属、陶瓷的三维微结构 元件, 目前L IGA 工艺已广泛应用于微型机械、微光学元件制作、装配和内连技术、光纤技术、 [2 ] 传感器技术、医学和生物工程等方面 , 美国、西德等国的一些公司运用L IGA 工艺技术已经 开始批量生产微结构元件作为商品进行销售。 　国家攀登计划资助课题 收稿 日期: 1997- 07- 2 1 © 1994-2009 China Academic Journal Electronic Publishing House. All rights reserved. 　2期 沈蓓军　等: 准分子激光深层光刻蚀在 工艺中的应用 　 L IG 57 　　激光L IGA 工艺技术国际上90年代才出现, 1994年德国在 St rabou tage 召开的EM R S 春 [3 ] ( ) 季会议上正式发表论文“光子激光L IGA