4.2参数式传感器及其应用2010.ppt

基本概念 基本概念 信息检测的不可缺少的首要环节，它的直接影响测试系统的整体测试精度 工程实际中俗称测量头、检测器等，也称为一次仪表 传感器 Transducer/Sensor/probe 基本概念 国家标准（GB7665—87）对传感器定义: 感受规定的被测量并按一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置 一个指定的传感器，只能感受规定的物理量 电量、非电量 传感器的输出信号中载有被测量信息，且能远距离传送 电信号、光信号、气动信号 输入输出关系服从一定规律，可以复现——公认、标准 组成 感受规定的被测量并按一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置 分类 用途/输入量:适合于用户 机械量：位移、力、速度、加速度、振动 热工量：温度、压力、流量、流速 光学量：光强、光通量、辐射能 能量关系 能量转换型/有源型：热电偶、光电池、压电式、惯性式 能量控制型：获取的信息能量来控制、调制外部激励 涡流、R、L、C参数型 2、电阻式传感器 定义：将非电量变化转换为电阻变化的传感器 测量的物理量 应变——应变片 热——热敏电阻 位移/距离——电位器 转换元件 电阻R 转换电路 直流电桥 应变片式传感器 工作原理：应变效应 应变片的电阻： l——长度 A——截面、半径r ρ——电阻率 微应变 材料在轴向受力的作用，产生机械变形/结构变形——微应变 应变片式传感器 工作原理 微应变 结构尺寸变化 应变单位：με（1με=1x10-6m/m） ν材料的泊松比 应变片式传感器 工作原理 电阻率变化 金属材料 ν材料的泊松比 C常数 半导体材料 л半导体材料在受力方向压阻系数 E半导体材料的弹性模量 应变片式传感器 工作原理 金属材料 一般ν≈0.3，C≈1，因此金属材料的电阻应变效应主要来自结构尺寸的变化——尺寸效应，且灵敏系数较小，约为2.0左右。 半导体材料 лE(1+ν)，因此半导体材料的电阻变化主要来自压阻效应，灵敏系数较大，约为50～200，且分散性大。 应变片式传感器 应变片结构 应变片式传感器 应变片使用——敏感元件 热电阻式传感器 半导体电阻 具有负的电阻温度系数：温度降低时，其电阻值增加，灵敏度增大 具有灵敏度高、体积小、热容量小的优点，可作为精密温度测量 常用的测温电阻有锗电阻和热敏电阻 锗电阻 电阻温度关系很稳定，重复性很好——迄今所研究过的半导体中最理想的低温测量元件 标定一次可长期使用，而且它的测量精度可达到0.005K 许多国家将锗电阻温度计作为4.2K~20K之间的标准测温仪表 热电阻式传感器 半导体电阻 热敏电阻：正、负、临界温度系数 测量灵敏度较高、成本低、体积小（点温度测量）、重复性好，可满足不同测温对象的要求，而且适合动态测量 缺点是性能不稳定，互换性差，导致测量精度不高——空调系统的温控元件 应用 应变式力传感器 ZL110力传感器 额定载荷 10～50（kg） 灵敏度 2.0±0.2%（mV/kg/V） 非线性 0.02% F.S 滞后 0.02% F.S 激励电压 9～12 VDC 重复度 0.02% F.S 温度补尝范围 -10 ～ +40 ℃ 蠕变 0.02% F.S/30min 允许使用范围 -20 ～ +55 ℃ 应用 动态电阻应变仪 应变片：120Ω～1KΩ 输出：±5Vɑ_p（电流5mA） 回顾 传感器 定义：感受特定量、一定规律、可用输出信号 组成：三部分功能 电阻式传感器 应变片原理:结构尺寸效应、压阻效应 应用：差动、补偿原则、敏感元件 热电阻传感器：热阻效应 应用：铂电阻、铜电阻；锗电阻、热敏电阻 电位计：滑动触头 种类：绕线式、薄膜式 变极距式 两极板在被测对象作用下发生位移δ变化时 变极距型电容传感器的灵敏度是非线性的 极距愈小，灵敏度愈高,受击穿电压的限制 一般极距取0.1～1mm左右 减小非线性误差 选择初始距离δ;微小位移量的测量 非接触测量 变极距式 差动方式 两个变极距电容传感器，被测位移使动片变化，引起极距差动变化，两个输出电容也差动变化，提高测量灵敏度 差动电容传感器通常均接成电桥进行放大:电桥的相邻两个桥臂 典型结构 互感式差动变压器式 差动相敏检波（位移方向） 解决铁心位移的方向性——单输出对应多输入 输出存在一定的零点残余电压——调零R 小位移测量的差动相敏检波电路 直接测量：直线位移；间接测量：力、重量、液位——敏感元件 应用 表