沉积参数对!#!薄膜结构及阻透性能的影响!.PDFVIP

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  • 2017-06-08 发布于湖北
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沉积参数对!#!薄膜结构及阻透性能的影响!

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 6’ ! 4 ! , , , IK= -6’ ,K - ! ]FDL@ 4 ( ) !;$4Z4Z6’ ! Z)$;% [WG[ X.U*\W[ *\,\W[ !4 WM+F - XM@0 - *K1 - 沉积参数对!# 薄膜结构及阻透性能的影响! ! )) )) )

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