基于电感传感器的微位移测量系统设计大学学位论文.docVIP

绪论 2 第一章 基于电感传感器的微位移测量系统概述 2 第二章 设计思路 3 第三章 使用模块及相应硬件概述 4 3.1 电感传感器 4 3.2 正弦激励电路 6 3.3相敏检波电路设计 7 3.4 程控放大电路 8 3.5 A/D转换电路模块 9 3.6 单片机模块 15 3.7 LCD显示模块 18 3.8 无线传输模块 20 第四章 心得体会 31 参考文献 32 绪论 随着现代制造业的规模逐渐扩大，自动化程度愈来愈高。要保证产品质量，对产品的检测和质量管理都提出了更高的要求。我们为此要设计一种精度的检测位移的仪器。电感测微仪是一种分辨率极高、工作可靠、使用寿命很长的测量仪,应用于微位移测量已有比较长的历史.国外生产的电感测微仪产品比较成熟,精度高、性能稳定,但价格昂贵.国内生产的电感测微仪存在漂移大、工作可靠性不高、高精度量程范围小等问题,一直与国外的传感器水平保持一定的差距.在超精密加工技术迅猛发展的今天,这种测量精度越来越显得不适应加工技术发展的需求.该文针对这些问题,对电感传感器测量电路进行了一定的设计和改进.对电感测微仪的正弦波生成电路、交流放大电路、带通滤波电路、相敏检波电路等进行分析及相应设计。 基于电感传感器的微位移测量系统概述 电感微位移传感器是一种建立在电磁感应基础上，利用线圈的自感或互感系数的改变来实现非电量(主要是位移)测量的低本、高精度测量仪，因为