软！射线位相型金透射光栅地设计与制作！.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 14 (% #%%’ (% ， ， ， PQ; +14 OQ + (% RBAQSCT #%%’ （ ） (%%%8$#%F#%%’F14 (% F5$#8%5 GHIG JKLMNHG MNONHG #%%’ HU:/ + JUV@ + MQB + 软 射线位相型金透射光栅的设计与制作! ! ! 邱克强 徐向东 刘 颖 洪义麟 付绍军 （中国科学技术大学国家同步辐射实验室，合肥 #