第6讲固态传感器.ppt

霍尔元件与一般半导体器件一样，对温度变化十分敏感。霍尔元件灵敏度系数与温度的关系可写成： KH0表示温度T0时的KH值；△T=T-T0表示温度变化值；α为霍尔元件灵敏度的温度系数 为了减小霍尔元件的温度误差，除选用温度系数小的元件或采用恒温措施外，还可以采用其他措施。 由于霍尔元件灵敏度温度系数?、补偿电阻温度系数?比霍尔元件内阻温度系数?小得多，即：????，????，于是式（6-11）可以简化为： 如果保持霍尔元件的激励电流不变，而让它在一个均匀梯度的磁场中移动时，则其输出的霍尔电势就取决于它在磁场中的位置。利用这一原理可以测量微位移。当霍尔元件有微小位移时，就有霍尔电势输出，在一定范围内，位移与UH呈线性关系。 湿敏传感器 主要特性 灵敏度 指被测湿度作单位值变化时所引起的输出量（感湿特征量）的变化程度。灵敏度是特性曲线的斜率。 湿度量程 保证一个湿敏器件能够正常工作所允许的相对湿度的最大范围。 湿度温度系数 当环境湿度恒定时，温度每变化1℃，引起湿度传感器感湿特征量的变化量。 特性曲线 指湿敏传感器的输出量（或称感湿特征量）与被测湿度（例如相对湿度）间的关系曲线。 6.2.1 湿敏传感器基础 6.2.1 湿敏传感器基础 6.2.1 湿敏传感器基础 对湿敏传感器的要求 灵敏度高，感湿特性线性度好 使用寿命长，长期稳定性好 使用范围宽，湿度温度系数小 响应快，响应时间短 湿滞回差小 互换性好，易于批生产，成本低廉 6.2.2 氯化锂湿敏传感器 氯化锂（LiCl）是典型的离子晶体。高浓度的氯化锂溶液中，锂和氯仍以正、负离子的形式存在,而Li+对水分子的吸引力强，其溶液中的离子导电能力与浓度成正比。当溶液置于一定湿度的环境中时，若环境的相对湿度高，溶液将因吸收水份而浓度降低，电阻率增高；反之其电阻率下降。因此，氯化锂湿敏电阻的阻值将随环境湿度的改变而变化，从而实现了对湿度的电测量。 组合式氯化锂的阻—湿特性 0 30 60 90 0.01 0.1 1 10 相对湿度/% R/108Ω 氯化锂湿敏元件湿滞回差较小，受测试环境风速的影响小，检测精度高达±5%，但其耐热性差，不能用于露点以下测量，器件性能重复性不理想，使用寿命短。 抗沾污能力强 热稳定性好 响应快 可加热清洗 使用温度范围宽 可工作在恶劣环境下 优点 优点 6.2.3 半导体及陶瓷湿敏传感器 该湿度传感器的感湿体是MgCr2O4-TiO2系多孔陶瓷。MgCr2O4属于P型半导体，其特点是感湿灵敏度适中，电阻率低，阻值温度特性好。为改善烧结特性和提高元件的机械强度及抗热骤变特性，在原料中加入一定的TiO2。这样在1300℃的空气中可烧结成相当理想的瓷体。 烧结体型 1 6.2.3 半导体及陶瓷湿敏传感器 此类湿度敏感元件是把感湿粉料（金属氧化物）调浆，涂覆在制好的梳状电极或平行电极的滑石瓷、氧化铝或玻璃等基板上，经低温烘干后制成。四氧化三铁、五氧化二钒及三氧化二铝等湿敏元件均属此类，涂覆膜型湿敏器件有多种品种，其中比较典型且性能较好的是Fe3O4湿敏器件。 涂覆膜型 2 6.2.3 半导体及陶瓷湿敏传感器 利用三氧化二铝做电介质构成电容器，由于多孔的三氧化二铝薄膜易于吸收空气中的水蒸汽，从而改变了其本身的介电常数，这样电容器的电容值就会随着空气中水蒸汽分压而变化，从而可以测量出空气的相对湿度。 目前以铝为基础的湿敏元件在有腐蚀剂和氧化剂的环境中使用时，都不能保证长期稳定性，但以钽作为基片，利用阳极氧化法形成氧化钽多孔薄膜是一种介电常数高、电特性和化学特性较稳定的薄膜，以此薄膜制成电容式湿敏元件可以大大提高元件的长期稳定性。 薄膜型 3 6.2.3 半导体及陶瓷湿敏传感器 6.2.4 高分子聚合物湿敏传感器 有机纤维素具有吸湿溶胀、脱湿收缩的特性，利用这种特性，将导电的微粒或离子掺入其中作为导电材料，就可将其体积随湿度的变化转换为感湿材料电阻的变化，从而完成对环境湿度的测量。这一类的胀缩性有机物湿敏元件主要有：碳湿敏元件及结露敏感元件等。 采用丙烯酸塑料作为基片，在基片两长边的边缘上形成金属电极。在其上浸涂一层由羟乙基纤维素、导电碳黑和润湿性分散剂组成的浸涂液，待溶剂蒸发后即可获得一层具有胀缩特性的感湿膜。最后经老化、标定后即可进行湿度测量使用。 利用醋酸纤维作为感湿材料，形成电容式湿敏元件。其响应速度快，重复性能好，最适宜的工作温度范围为0～80℃。 6.2.4 高分子聚合物湿敏传感器 高分子聚合物薄膜湿敏元件是一类比较理想的湿敏元件。作为感湿材料的高分子聚合物能随周围环境的相对湿度大小成