黑色金属电子背散射衍射 EBSD) 分析试样的制备.pdfVIP

黑色金属电子背散射 衍射 (EBSD) 分析试样 的制备 应用说明 本应用说明主要讲述黑色金属的EBSD分 当电子束撞击试样表面时即可产生EBSD图 析试样的制备，此外还包含一些有关试样 像。材料中的散射电子沿所有可能的方向行 制备与EBSD调试方面的实用建议。我们 进。那些满足某个晶面的布拉格条件2的电 选择了各种不同类型的黑色金属，完整描 3 子被导流并出现菊池线 。 述了所用的制备过程，并评估了材料的微 观组织及织构、晶界。 类似电子背散射花样的EBSP最早由 Kikuchi（菊池）(1928年)在透射电子显 EBSD是一种对表面状态敏感的技术， 微镜(TEM)中发现。我们今天所使用的 它需要对来自晶格表面几至几十个纳米 EBSD最初由Dingley在1980年代及后 (5-50 nm)处的衍射信号进行分 析，因此，必须保证材料表层不 受损坏、污染或氧化，这使得试 样制备对收集准确的EBSD数据 至关重要。在进行试样分析时， 必须将其进行大角度(通常为70o) 倾斜，这意味着必须保持最好的 表面状态 (尽量少的凹凸不平) 以 避免阴影问题的产生。 有许多种面向EBSD的试样制备 技术，具体选择哪种技术取决 于试样的成分及结构。遗憾的 是，没有一种技术适用所有的材 面心立方晶体结构（fcc）的菊池线。奥氏体电子背 不锈钢X5CrNi18-10的电子背散射衍射（EBSD） 散射花样（EBSP）及其密勒指数。 花样。用于鉴定晶粒大小及晶粒取向。原始放大倍 料，为了得到合适的制备技术往往需要 数200x。 多实验。 来Wright在1990年代早期所开发。同 EBSD是一种在晶体学分析的基础上通 时，Niels Schmidt在丹麦独立开发了计算 过扫描电子显微镜来评估试样微观结构 机辅助标引问题的通解，该通解首次对所 的技术。 有7个晶系进行了精确的标引。霍夫变换4 的应用实现了EBSP取向测量自动化。 扫描电子显微镜（SEM）是一种电子显微 镜，其通过光栅采用高能电子束扫描试样 如今电子背散射衍射(EBSD)技术已经广 的表面并对其成像。通常，扫描电子显微 泛应用于多个不同的研究领域：金属加工 镜上会配备EDS1系统以实现EDS/EBSD 工业、航空航天工业、核工业、汽车制造 组合映射，以便于在同一视场中对化学 业以及微电子工业和地球科学领域等。利 安装在扫描电子显微镜（SEM）上的Nordlys EBSD 探测器。牛津仪器公共股份有限公司供图。 信息和晶体学信息进行对比。 用此技术，可在实验室中对某种铝合金的 织构进行表征，而在另一个实验室中对某 EBSD除了可提供绝对的晶体取向信息之 种无铅焊料的不同物相进行鉴定。 外，还可以对材料中的第二相进行辨识与 鉴别、织构测量、边界表征以及形变测 量。因此，EBSD作为一种检查与测量技 术越来越受欢迎。 安装在扫描电子显微镜（SEM）样品室内部的 Nordlys EBSD探测器。牛津仪器公共股份有限公 司供图。 金相制备的难点 关于扫描电子显微镜的使