甚高频高速沉积微晶硅薄膜的研究！.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 # L %$$( L ， ， ， )R? 4# ]R 4L 2EQVE7XET %$$( （ ） ’$$$,;%L$8%$$(8# $L 8$$%,$# M/OM -*\2N/M 2N]N/M %$$( /I36 4 -IU9 4 2R1 4 甚高频高速沉积微晶硅薄膜的研究! ! 郭学军 卢景霄 陈永生 张庆丰 文书堂 郑 文 申陈海 陈庆东 （郑州大学材料物理教育部重点实验室，郑州 #$$#% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）