电子回旋共振等离子体增强沉积氟化非晶碳薄膜的光学性质！.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 #$ $ !$$ $ ， ， ， )UO 1#$ NU 1 $ VRAUW9 !$$ （ ） $$$’!;$S!$$S#$ $ S!$3’$% T5/T -6E+*5T +*N*5T !$$ 5XF@ 1 -XYC 1 +UR 1 电子回旋共振等离子体增强沉积氟化非晶 碳薄膜的光学性质! 叶 超 宁兆元 程珊华 （苏州大学物理系，苏州 !#$$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）