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文本复制检测报告单 ? ? 检测日期 2010-03-24 检测文献 正文 字数 27146 作????者 槿澜 检测类型 文本复制 申请单位 检测范围 中国学术期刊网络出版总库,中国博士学位论文全文数据库/中国优秀硕士学位论文全文数据库,中国重要会议论文全文数据库,中国重要报纸全文数据库,中国专利全文数据库 检测结果 总重合字数 ?6801 总文字复制比 ?25% 总段落数 ?3 疑似段落数 ?3 前部重复字数 ?2456 后部重复字数 ?4345 疑似段落最大重复字数 ?3047 疑似段落最小重复字数 ?1315 段落标题 ?正文-段落1 重合文字来源 ?磁悬浮平台承载特性研究 作者 ?郭磊 文献来源 ?中南大学硕士学位论文 发表时间 ?2005 文字复制比 ?14% 引证关系 ?否 段落标题 ?正文-段落1 重合文字来源 ?架空索道塔架现代设计方法应用研究 作者 ?金松安 文献来源 ?重庆大学硕士学位论文 发表时间 ?2006 文字复制比 ?8% 引证关系 ?否 段落标题 ?正文-段落1 重合文字来源 ?基于ASP平台的远程CAE服务的应用模式研究及其实例实现 作者 ?罗珊 文献来源 ?广西大学硕士学位论文 发表时间 ?2006 文字复制比 ?7% 引证关系 ?否 段落标题 ?正文-段落1 重合文字来源 ?焊接钢质药筒设计理论与研究 作者 ?何清 文献来源 ?中北大学博士学位论文 发表时间 ?2005 文字复制比 ?7% 引证关系 ?否 段落标题 ?正文-段落1 重合文字来源 ?基于架空索道塔架工程设计中的现代设计方法应用研究 作者 ?王宇 文献来源 ?重庆大学硕士学位论文 发表时间 ?2008 文字复制比 ?7% 引证关系 ?否 段落标题 ?正文-段落1 重合文字来源 ?某火箭武器特种集装箱式发射系统结构分析及动力学仿真 作者 ?李波 文献来源 ?南京理工大学硕士学位论文 发表时间 ?2008 文字复制比 ?7% 引证关系 ?否 段落标题 ?正文-段落1 重合文字来源 ?计算机辅助工程(CAE)技术及其应用 作者 ?王自勤 文献来源 ?贵州工业大学学报(自然科学版) 发表时间 ?2001年第04期 文字复制比 ?6% 引证关系 ?否 段落标题 ?正文-段落1 重合文字来源 ?大型转子式翻车机的三维建模及其数值模拟 作者 ?马艳丽 文献来源 ?昆明理工大学硕士学位论文 发表时间 ?2004 文字复制比 ?6% 引证关系 ?否 第一章 绪论1.1 引言随着光刻机整体性能的日渐完善与提高，作为光刻机重要部件的定位平台技术也得到了快速的发展。目前,成熟的定位平台已由早期的丝杠驱动结构发展为直线电机驱动的气浮平台结构。随着磁悬浮技术的日趋成熟,这项技术得到了广泛的应用。磁悬浮技术是集控制工程、机械学、电磁学、动力学等学科为一体的典型机电一体化技术。2000年8月我国研发的第一台磁悬浮列车已经进入了试运行阶段。其运动平台和驱动机构采用非接触式磁浮驱动机构，消除了摩擦力和丝杠弹性变形的影响，易于实现多自由度的精密运动的优势逐渐显现出来。近年来，磁悬浮技术开始从宇航、军事等领域向一般工业推广应用[1]。1.2 精密定位平台发展与研究现状磁悬浮技术研究始于二十世纪二十年代，发展和应用于六、七十年代，并主要应用在铁路交通运输以及磁悬浮轴承系统等方面。例如，磁悬浮列车，磁轴承支承的透平机械、磁轴承支承的飞轮储能系统等。近些年来，磁悬浮技术已经在很多高科技领域与相应的加工领域获得广泛的应用。例如，磁悬浮技术应用于机床加工系统，可减少机床的单位动力消耗，提高了加工精度，避免导轨摩擦，延长使用寿命，降低维修支出，并可实现微米级定位精度；应用于扫描隧道显微镜中最高可实现纳米级的定位精度。磁悬浮技术具有以下优点[2－3]：无接触、无润滑、无磨损，运行费用和维护费用低，工作周期和使用寿命长，适用于真空、超洁净、无菌车间等环境。正是由于磁悬浮技术的诸多优点，国内外很多组织都出巨资联合进行磁悬浮技术在光学系统中的应用和研究，研制开发磁悬浮定位平台。目前已经有很多种磁悬浮平台结构，根据其运行原理可大致分为2类：一类是悬浮力和推力由同一部件提供，该结构未能完全实现悬浮力和推力间的解耦，控制较为复杂；另一类是悬浮力和推力由不同的部件分别完成，这种结构实现了悬浮力和推力间的解耦，控制较为简单[4]。目前扫描微动工作台主要有五类：1、柔性支承微动工作台；2、滚动导轨式微动工作台；3、滑动微动工作台；4、气浮式微动工作台；5、磁悬浮式微动工作台。 柔性支承微动机构是近年来发展起来的一种新型的微位移机构