第七章电子探针显微分析剖析.pptVIP

第七章 电子探针显微分析 Electron probe microanalysis 电子探针显微分析(Electron Probe Microanalysis EPMA)的主要功能是进行微区成分分析。它是在电子光学和 X射线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器。  工作原理： 用细聚焦电子束入射样品表面，电子束将在一个有限的 深度和侧向扩展的微区体积内，激发出样品元素的特征X射线 ，分析特征X射线的波长（或能量）可知元素种类；分析特征 X射线的强度可知元素的含量。 第一节 电子探针的结构 结构 镜筒 信号检测系统： x射线谱仪 信息记录部分 x射线谱仪 Energy Dispersive X-ray Spectrometer (EDS) Used for TEM and SEM Most commonly used Energy resolution is not very high, but fast Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer (WDS) Used only for SEM and EPMA Energy resolution is high, but slow 第二节 波谱仪 工作原理：根据布拉格定律，从试样中发出的特征X射线，经过一定晶面间距的晶体分光，波长不同的特征X射