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DM250S高真空镀膜台 使用说明书 （含装箱清单） 上海永麟电子设备有限公司 使用镀膜台前，请务必仔细阅读本说明书，以防因操作失误引起仪器损坏！！！ 概述 DM250S型高真空镀膜台采用了淀积原理的技术，主要适用于电子显微镜制作样品时蒸镀金属膜、碳膜，也可用于清洗电子显微镜的光栏及其它金属膜，以及实验室和工厂用于一般蒸镀薄膜、金属镀层，或对某些小零件作真空加热定型处理。 主要技术参数： 工作电压： 220V，50Hz 工作温度： 环境温度10℃～30℃ 冷却水进口温度25℃ 工作环境湿度： 80% 真空室（玻璃钟罩）： Ф250mm×225mm(h)(保护罩265mm(h)) 蒸发电流： ≤75A 蒸发电压： ≤20V 工作真空度： ≤3×10-3Pa 主机功耗: 2kw 外形尺寸: 705mm×405mm×900mm 使用方法和操作步骤（各开关、旋钮参见图一，阀门操作按照表一所示开关状态执行，真空阀门V1、V2和V3顺时针旋到底为“关”，逆时针旋到底为“开”，V4的开关由操作“钟罩放气”按钮来执行）： 表一（阀门动作状态） 开○ 关╳ V1 V2 V3 V4 ╳ ╳ ○ ╳ ╳ ○ ╳ ╳ ○ ╳ ○ ╳ ╳ ╳ ○ ○ 图一：DM250S高真空镀膜台面板开关示意图 仪器安装及开机准备： 接上冷却水管，打开水源，关蒸镀电源，“电流调节”旋钮逆时针旋到底，插上电源插头，打开冷却水，按“电源”按钮，该按钮指示灯亮； 工作室真空获得（V1、V2、V3、V4各阀门必须严格按表一操作）： 2．1 确认真空室玻璃钟罩已合好； 2．2开“真空泵”（指示灯亮），开V3，各阀门处于“扩散泵预抽”状态； 2．3 打开ZDF-5214A复合真空计电源（真空计的使用见其产品使用说明书），按“功能/手动/自动”键选择“手动”测量功能（“手动”指示灯亮）； 2．4 开“扩散泵”（指示灯亮，此时，如冷却水源没有接上或水流太小，则蜂鸣器报警，请务必关“扩散泵”，检查冷却水源，重新开“扩散泵”），扩散泵开始加热，等待30分钟，扩散泵加热完成； 先后关V3、开V2，各阀门处于“真空室预抽”状态，观察真空计显示数据（此时为电阻规测量方式，“电阻”指示灯亮），当读数小于5.0E0（即真空度5.0×100Pa）后，先后关V2、开V3、V1——使各阀门处于“真空室高真空”状态*，按真空计的“置数/电离开关”键打开冷规测量（此时为电离规测量方式，“电离”指示灯亮），观察其读数（如果此时真空度较低，真空计将自动关闭电离规测试方式并显示“?”， 可稍等一会儿，待真空度有所提高后，按“功能/手动/自动”键，重新切换至手动测试状态，再次开启冷规测量），待真空指示小于3.0E-3（即真空度3.0×10-3Pa）后，则本机系统的真空度已达要求（如未达到要求可适当延长抽真空时间）； *说明：如因久未使用本机，平时没有把钟罩保持在真空状态下，可能预抽较长时间（约3-4分钟）不能达到5.0E0，则需关闭V2，打开V3，重新进入“扩散泵预抽”状态，1-2分钟后，再次进行真空室预抽； 蒸镀样品： 3．1 关“蒸镀”开关（指示灯灭），“电流调节”旋钮逆时针旋到底，按真空计的“置数/电离开关”键关闭冷规测量，先后关V1、V2、开V3，再按“钟罩放气” 钮（该按钮指示灯亮）——打开V4，令各阀门处于“真空室放气” 状态，按“钟罩升降”按钮，放气完毕（约需半分钟），钟罩自动升起； 3．2 把一对碳棒（一根为圆柱形，另一根的头部须磨成圆锥角小于20°的圆锥体）或一只钨篮小心地安装在“蒸镀I”或“蒸镀II”（出厂时，在“蒸镀II”电极上装了钨篮）对应的电极组的支架上，旋紧各固定螺钉，使其接触可靠，把样品放在样品台上，如有必要，则还要将用于蒸镀的材料放在钨篮里； 3．3 按“钟罩升降”按钮降下钟罩（指示灯灭），再按“钟罩放气”钮（指示灯灭）——关闭V4，检查钟罩是否合好，并严格按照步骤2.5抽真空； 3．4 用“蒸镀选择”开关选取所需的一组电极； 3．5 开“蒸镀”开关（指示灯亮）（如有必要，按“旋转”开关使样品台转动），调节“电流调节”旋钮选取适当的电流进行蒸镀，蒸镀后，关“蒸镀”开关（指示灯灭），观察样品，如不满意，重复本步骤，直至达到蒸镀要求，关“旋转”开关（如有必要）； 3．6 等电极冷却10分钟后，按步骤3.1进行真空室放气，升起钟罩（注意：此时电极温度可能仍然很高，当心被烫伤），小心拿出样品，如还有其它样品要蒸镀，重复3.2至3.6； 清洗光栏、金属膜 步骤和3类似，只是要将钨篮换成钼舟，把待清洗的光栏或金属膜放入钼舟内，加热时间可能较长（由使用人根据经验决定）,电流不宜过大，否则，容易使样品和钼舟烧结在一起而损坏。 关机 5．1 检查与蒸镀、样品安放有