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飞秒激光脱附的随机运动模型的研究
84 中国科学 E 辑 技术科学 2006, 36(1): 84~93
飞秒激光脱附的随机运动模型的研究*
池寅生 ** 林晓辉 庄 苹 陈云飞 ***
(东南大学 机械系, MEMS 教育部重点实验室, 南京 210008)
摘要 以飞秒脉冲激光的非平衡态传热和原子分子激发态的微观机理为基础,
建立了飞秒激光对微纳米结构中基体表面层的杂质进行脱附的随机运动物理模
型. 由脱附过程的数值模拟结果, 获得了脱附概率随激光辐射时间的演化规律以
及不同激光参数对脱附概率的影响.
关键词 脱附 飞秒激光 随机运动
在微机电系统(MEMS)和微纳米器件的制造过程中, 杂质(如微量液体和离
子气体) 引起的器件失效一直是微纳米加工领域面临的严重问题. 如制造功能器
件的薄膜, 在其制备过程中, 各种杂质会从周围环境气氛 加工的特殊物理化学
[1]
过程以及基体上混入薄膜, 形成结构缺陷, 影响薄膜的性能 ; 又如微结构的尺
寸在纳米量级, 杂质与基体的吸附效应增大, 从而引起黏着和较大的静摩擦力,
导致微构件变形 [2]
损坏 .
飞秒脉冲激光由于在较小的光能能量密度下具有极高的光强 热扩散区域极
小以及非平衡态加热等特性, 为微纳米器件中的杂质脱附提供了全新的工具和
手段. 研究飞秒激光脱附的核心问题是脱附机理及其理论模型: 如 Fushinobu 等
[3] [4]
人 研究了运用超短脉冲激光辐射可以减少 MEMS 中结构的黏附性; Lu 等人
从激光辐射时具有一定能量和动量, 与杂质之间存在力的相互作用角度建立了
[5]
脱附模型; Funk 等人 根据宏观理论, 利用Arrhenius 经验方程式, 导出了吸附分
[6]
子的脱附反应速率和达到吸附势能时的脱附概率. Newns 等人 对一维 Fokker-
[7]
Planck 方程进行近似简化导出了脱附概率的解析表达式; Gaszuk 等人 运用半经
典的波包理论, 从量子力学的角度提出了描述脱附过程的理论模型.
本文以飞秒激光脱附的工程应用为背景, 借助随机过程理论, 建立了吸附分
收稿日期: 2004-12-03; 接受日期: 2005-03-08
* 国家自然科学基金(批准号:和江苏省自然科学基金(BK2002060)资助项目
** E-mail: yshchi@
*** 联系人, E-mail: yunfeichen@
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第 1 期 池寅生等:飞秒激光脱附的随机运动模型的研究 85
子(杂质)从金属薄膜基体表面层脱附的随机运动物理模型;
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