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真空知识及真空泵 真空基础知识（1）真空单位换算　 重点换算单位：Pa，mbar(hPa)，MPa，mmHg，大气压　　1mmHg=133Pa, 1mbar(hPa)=100Pa, 1MPa=106Pa（2）绝对压力与相对压力　　绝对压力（也称为绝压），即以“绝对的真空”(自然界中没有绝对的真空，理论上才能达到的绝对真空)为零位，标出的数值都是正值，这个数字越小，越接近绝对真空，也就是绝对压力越小，真空度越高。　　相对压力（也称为表压），即以大气压作为零位，低于大气压的用负值表示，所以叫“负压”。这个负值的绝对值越大，则真空度越高。　　应该充分理解绝对压力与相对压力的概念并熟练换算例：60mmHg＝-700mmHg＝-0.093MPa　　 真空知识及真空泵 真空知识及真空泵 绝对压力一般在压力单位后标“A”，例20kPaA；相对压力一般在压力单位后标“G”，例-80kPaG （3）抽气速率单位换算　　52m3/h＝52×1000L/3600s＝14.44L/s　　　1CFM（立方英尺/分）＝0.472L/s 各种真空泵主要工作原理 如图：在泵体中装有适量的 水作为工作液。当叶轮按图中顺时 针方向旋转时，水被叶轮抛向四周， 由于离心力的作用水形成了一个 决定于泵腔形状的近似于等 真空知识及真空泵 厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定的插入深度）。此时叶轮轮毂与水环内界面之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。 综上所述，水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的，因此它属于变容式真空泵。 　　 真空知识及真空泵 水环真空泵由于用水或其它液体做工作液，所以其抽气性能及真空度受工作液的温度影响较大，如果工作液的温度较高，真空泵的入口真空度达到液体的饱和蒸汽压，水（液）环真空泵便会产生气蚀现象，气蚀的存在对泵的寿命损害比较大，主要表现为叶轮叶片的根部及排气圆盘的排气口附近，有规则的气蚀冲击孔。为了避免气蚀的产生，可以降低工作液的温度，或者降低真空泵的使用真空度。 水环真空泵主要形式有老式的SK,2SK系列，新式的2BV,2BE系列。极限压力为3300~5000Pa之间。 　 真空知识及真空泵 旋片式真空泵 如图为旋片泵的工作原理示意图。旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。 两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分，如图所示。当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A 的容积是逐渐增大的，正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的，正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的，正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大（即 真空知识及真空泵 当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置被压缩，容积逐渐缩小，最后与排气口相通。 当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转，达到连续抽气的目的。 如果排出的气体通过气道而转入另一级（低真空级），由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担，因而提高了极限真空度。 如果被除气体中含有少量的水蒸汽，真空泵在工作时请打开汽镇阀，以提高旋片真空泵对水蒸气的耐受度。 旋片式真空泵极限压力为0.05~1Pa。主要适合于高真空，洁净空气的工况 真空知识及真空泵 3、滑阀式真空泵 工 作原理与旋片式真空泵相似，但对泵腔没有磨擦，因此稳定性要好于旋片式真空泵 往复式真空泵 　　往复泵的结构和工作原理如图所示，主要部件有气缸1及在其中做往复直线运动的活塞2，活塞的驱动是用曲柄连杆机构3（包括十字头）来完成的。除上述主要部件外还有排气阀4和吸气阀5等重要部件，以及机座、曲轴箱、动密封和静密封等辅助部件。 运转时，在电动机的驱动下，通过曲柄连杆机构的作用，使气缸内的活塞做往复运动。当活塞在气缸内从左端向右端运动时，由于气 真空知识及真空泵 　　缸的左腔体积不断