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- 2017-06-10 发布于浙江
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【2017年整理】MEMS光开关
微机械设计;目录Contents;MEMS光开关的研究背景;MEMS技术;MEMS光开关的概念;MEMS光开关的特点;MEMS光开关的基本原理;MEMS光开关的基本组成;MEMS光开关的驱动方式;平行板电容静电驱动;梳状静电驱动器驱动;电磁驱动;;光开关的分类;MEMS光开关的分类;基于传统的机械式光开关;电磁驱动光纤移动的光开关;移动其他部件的光开关;移动反射镜、透射镜式;采用MOEMS技术移动微反射镜的光开关;MEMS光开关的分类;光路遮挡型MEMS光开关;移动光纤对接型MEMS光开关 ;微镜反射型MEMS光开关 ;二维(2D);N×N型光开关;Evaluation only.
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