浅H3PO4液层下YBCO高温超导薄膜表面粗糙度的红外实时表征.pdfVIP

第36卷 第11期 稀有金属材料与工程 2007年 11月 RAREME，rALMATERIALSANDENGINEERING November2007 粗糙度的红外实时表征 刘娟秀，罗正祥，羊 恺，刘 霖，补世荣，张天良，叶玉堂 f电子科技大学， 四川成都610054) 摘要：提出利用红外热像实时监测系统，实时获得在YBCO高温超导薄膜上H3PO。腐蚀浅液层的红外灰度数值分布， 并以浅液层热交换简化模型为基础，通过归一化红外灰度标准差值表征YBCO高温超导薄膜表面粗糙度的变化。理论 分析与实验结果均表明，由归一化红外灰度标准差值的变化曲线，可以清楚展现YBc0高温超导薄膜表面粗糙度增大、 减小以及趋于平缓的3个阶段，并能直接获得每个阶段所对应的时间。在本实验条件下，表面粗糙度在8s时达到最大 值，然后逐渐下降，到40s时开始趋于稳定。浅液层条件下的YBco高温超导薄膜表面粗糙度的成功观测，是一个重 要的阶段目标，为最终解决YBC0高温超导薄膜湿法刻蚀中粗糙度的实时监测难题奠定了良好基础。 关键词：超导薄膜；红外热像；粗糙度；钇钡铜氧 中图法分类号：05ll+．3；TN219文献标识码：A 文章编号：1002．185x(2007)11—1951．04 标准差值变化曲线表征YBC0薄膜表面粗糙度的变化 1 引 言 规律。浅腐蚀液层下YBc0薄膜表面粗糙度的成功表 Ag表面粗糙度是判断YBC0高温超导薄膜[1以垓0征，是一个重要的阶段目标，为最终解决湿法刻蚀进 蚀技术优劣的重要指标【3】，粗糙度的测量技术也一直 程中表面粗糙度的实时监测难题奠定了良好基础。该 是国内、外学者研究的热点领域。但对于湿法刻蚀工 方法在国内、外文献中均未见报道。 艺，YBcO薄膜位于液层下方，要实现YBc0薄膜在 2实验系统与方法 湿法刻蚀进程中表面粗糙度的实时监测具有极大的难 度，已比较成熟或新报道的材料表面粗糙度实时不接 实验系统如图1所示。该系统主要由红外热像仪、 触监测方法，如视频信号法[41、声波干涉法[51、光谱分三维平台、黑箱、自动气压喷雾器、以及计算机构成， 析法‘61、扫描显微镜法‘71、激光散射法‘81等，均不能对红外热像仪和三维平台是直接影响监测效果的主要单 位于液层下的腐蚀表面粗糙度变化进行实时监测，这 也极大地制约了YBC0高温超导薄膜湿法刻蚀技术的 研究与发展。 项目组致力于解决YBC0薄膜湿法刻蚀中表面粗 糙度实时监测这一难题，在研究中发现，如果首先能 够实现浅液层条件下YBCO表面粗糙度的实时监测， 进而便可以结合液层厚度回归分析[91、反演算法[10】和 轮廓逼近[11】等技术，消除液层厚度、监测精度等影 响【12】，最终实现对较厚腐蚀液层下YBCO薄膜湿法刻 蚀进程中表面粗糙度的实时监测。 本文提出利用红外热像实时监测系统，实时获得 图1 红外热像实时监测实验装置 forreal-time ofinfrared YBc0薄膜上腐蚀浅液层的红外灰度数值分布，并以 Fig．1Apparatus monitoring thennal 浅液层热交换简化模型为基础，通过归一化红外灰度 image 收稿日期：2006．12．31 E-mail：juanxiul@uestc．edu．cn 稀有金属材料与工程 第36卷 元。红外热像仪热响应时间小于4ms，分辨率为320d的相关信息。对浅液层中的微小立