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第26卷第6期 电 子 显 微 学 报 v。1.26.No.6 of 200r7年12月 JourmlClIine辩EIectmn Micm∞opy 文章编号:1000.628l(2007)06.0576一06 of characterizerforISo DeVelopmentTip WANGChun—meil”,ITOHHiroshi批,SUN Jie.1inl, HU Junb’,SHEN Dian.hon94,ICHIMURAShin902 (1.SchoolofIJifescience卸d 200240,China; Biotechnolog)r,shaIlglIaiJiaotongUnive璐ity,shan曲ai 2.NationalInstituteofAdvancedIndustrialScience跚d Umezono RIIF-AIST,l—ll-Chon圮, Technology Tsukuba-shi,Ibaraki—ken Institute0f 305-8568,J印aIl;3.shan曲ai of OBox Academysciences,P 201800,China; AppliedPhysics,Chinese 800-204,Shangllai 4.NationalCenterforNanoscienceaIld 100080,China) Nanotechnology,Beijing Abstract:‰dardizationi伽e standardjzationh∞b∞ndomin i8锄important in∞anningprobemic瑚c叩y(SPM)field.SPM tlIe如meworl【oftl坨Intem撕onal for e硒nsandt陀nd8蚰sPM8tandardizationam 0rg£IIIizationStandardi施ti吼(ISO).Recent he∞.11leIntemati∞alof AFM8havebeen to to眦nomet砖卵ale surveyed systemunits(SI)tmceable developede妣end脱trology andenablestandardma£erial8fordimen8ionalt0be calibmted.E娲rtson bo山ce

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