三氯氢硅精馏过程的模拟与优化.pdfVIP

第39卷第1期 北京化工大学学报(自然科学版) V01．39，No．1 2012矩 of ofChemical Journal Science) 2012 BeijingUniversity Technology(Natural 三氯氢硅精馏过程的模拟与优化 李群生1 白 洁1 郭增昌2 王宝华3+ (1．北京化工大学化学工程学院，北京100029；2．特变电工新疆硅业有限公司，新疆乌鲁木齐830011； 3．北京中医药大学中药学院，北京 100029) 摘要：采用化工流程模拟软件，对三氯氢硅精馏的双塔流程进行了模拟计算，在产品质量达到工艺要求的基础 上，对精馏过程各塔的主要参数进行了分析优化。计算得到预分离塔的最适宜进料板位置、回流比、塔顶采出量分 别为6、18、250kg／h，三氯氢硅塔的最适宜进料板位置、回流比、塔顶采出量分别为12、5、2453kg／h，并且最适宜的进 料温度范围为25—35℃。将优化后的参数应用到实际设计和生产中，三氯氢硅塔塔顶产品各组分含量的模拟结果 与工业数据基本一致，三氯氢硅纯度大于0．999。 关键词：三氯氢硅；精馏；模拟优化；工业应用 中图分类号：TQ028．4 应液先进入预分离塔(简称预塔)，三氯化硼、二氯 引 言 二氢硅等轻组分杂质在塔顶脱除，釜液由进料泵送 多晶硅是光伏产业的基础材料，其需求量随光 入三氯氢硅塔(简称三塔)，塔顶得到纯度很高的三 伏产业的快速发展不断增加。三氯氢硅的提纯是改 氯氢硅，塔釜得到纯度较高的四氯化硅。分离要求 良西门子法生产多晶硅的关键环节，三氯氢硅的纯 为三塔塔顶三氯氢硅质量分数大于0．999，三氯化 度直接影响多晶硅产品的质量…。 硼和三氯化磷质量分数分别小于2．0×10‘8和5．0× 工业上多采用精馏的方法对三氯氢硅进行提 10一，塔釜三氯氢硅质量分数小于5．0×10～。 纯，三氯氢硅精馏的双塔流程目前在工业上应用较 表1 三氯氢硅精馏系统进料组成 多旧·，但是在生产中存在着产品质量偏低，三氯氢 Tablel Feeddatafortrielorosilanedistillation systems 硅损失量大，能耗偏高等问题。前人主要从物料和 热量平衡的整体角度对三氯氢硅精馏过程进行模拟 计算¨一】，缺乏对某些关键参数对精馏系统各塔影 响的分析。 Plus对三氯 本文采用化工流程模拟软件Aspen 氢硅精馏的双塔流程进行模拟计算，对影响精馏系 统的重要参数进行灵敏度分析，以提高产品质量，降 低能耗和原料损失，并将模拟结果与工业数据进行 了对比分析。 1 三氯氢硅精馏的工艺流程 2 结果与讨论 某厂年产2万t三氯氢硅精馏系统，迸料的组 2．1 精馏过程的初步设计与计算 成如表l所示。采用双塔工艺分离，如图1，合成反 物性方法的选择直接影响模拟计算结果的准确 收稿日期：2011—06—27 度，由于物系中既含有非极性物质，又含有极性物 基金项目：国家“973”计划