第6章 压电传感器.ppt

第六章 压电式传感器 第一节 压电效应 第二节 石英晶体的压电效应 第三节 压电陶瓷的压电效应 第四节 压电元件常用结构形式 第五节 等效电路与测量电路 第六节 压电式传感器的应用举例 第七节 压电式传感器的误差 第一节 压电传感器的工作原理 压电常数和表面电荷密度的计算 二、压电元件的坐标系表示法 各平面的电荷密度： 其它压电常数： 三、石英晶体的压电效应 （a）硅原子带有4个正电荷，氧原子带有2个负电荷，正负电荷是互相平衡的，所以外部没有带电现象。 图6-3 石英晶体压电效应 3.特点： 石英晶体是一种天然晶体，它的压电系数为d11=2.31×10-12 C/N。莫氏硬度为7，熔点为1750℃，膨胀系数仅为钢的1/130。 作为常用的压电传感器具有转换效率和转换精度高、线性范围宽、重复性好、固有频率高、动态特性好、工作温度高达550℃（压电系数不随温度而该改变）、工作湿度高达100%等优点，它的稳定性是其他压电材料无法比拟的。 四、压电陶瓷的压电效应 1.压电陶瓷的极化特性 2.压电陶瓷的压电效应 3. 压电陶瓷的特点 压电系数大，灵敏度高，成本低。 缺点：居里点低，温度稳定性、机械强度不如石英晶体。 第二节 等效电路与测量电路 一、等效电路 ①当需要压电元件输出电荷时，可以把压电元件等效为一个电荷源与一个电容相并联的电荷等效电路。在开路状态，其输出端电荷为： ②当需要压电元件输出电压时，可以把压电元件等效为一个电压源与一个电容相串联的电压等效电路。在开路状态，其输出端电压为： 第二节 等效电路与测量电路 1、压电传感器等效电路 2、压电式传感器测试系统等效电路 二、压电元件的联结方式 在压电传感器中，压电材料一般不用一片，而常常采用两片（或是两片以上）黏结在一起。由于压电材料的电荷是有极性的，因此接法也有两种。 1.串联 2.并联 1.串联：此时两压电片电荷极性为正、负串联输出。其输出电容为单片电容的一半，输出总电荷等于单片电荷，但输出电压为单片电压U的2倍。 2. 并联：此时两压电片电荷同极性端并联。其输出电容为单片电容的2倍，但输出电压等于单片电压U，极板上电荷量为单片电荷量的2倍。 三、测量电路 通常将压电传感器的输出信号输入到测量电路的高输入阻抗的前置放大器中来变成低阻抗输出信号，然后再送到测量电路的放大、检波、数据处理电路或显示设备。由此看来，压电传感器的测量电路中的关键部分在前置放大器。 前置放大器的两个作用： 1.是放大，把压电传感器的微弱信号放大； 2.是阻抗变换，那传感器的高阻抗输出变换为低阻抗输出。 前置放大器有两种形式，一种是电压放大器；另一种是电荷放大器。 1.电压放大器 要求： （1）很高的输入阻抗（1011MΩ，这样才能减小由于漏电造成的电压、电荷的损失，不致引起过大的测量误差）； （2）很低的输出阻抗（小于100Ω，带负载能力强）； （3）Au0很大。 三、测量电路 1. 电压放大器（阻抗放大器） 则等效电压源的端电压为 与作用力 之间的相位差为 当作用在压电元件上的力是静态力，即 时，前置放大器的输入电压等于零，这从原理上决定了压电传感器不能用于静态测量。 令测量回路时间常数为 一般ωτ＞3，上式即可成立，此时说明电压输出型测量电路中的Ui与作用力f的变化频率ω无关，即这种测量电路具有很好高频响应特性，这是其主要优点。此时传感器电压灵敏度为 内部装有超小型阻抗变换器的压电式加速度传感器 将一种电压放大器（阻抗变换器）直接装进传感器内部，使其一体化。由于该阻抗变换器充分靠近压电元件，引线非常短，引线电容几乎为0，这就避免了长电缆对传感器灵敏度的影响。 2. 电荷放大器 由于 所以 电荷放大器突出的优点是： 　在一定条件Cf（1+A）（Ca+Cc+Cf）下，传感器的输出电压、灵敏度与电缆长度无关。 第三节 压电式传感器的应用举例 思考题： 　１.压电元件传感器为什么不能测量静态量，只能测动态量？ 　２.压电元件传感器的负载为什么是无穷大？ 　３.前置电压放大器的作用是什么？ 　４.电荷输出型测量电路的主要优点有哪些？ 当开环增益A和输入电阻Ri、反馈电阻Rf相当大并视为开路时，放大器的输出电压正比于输入电荷Q。 一般A都很大，则Cf（1+A）（Ca+Cc+Cf） 于是 采用可变电容Cf ，选择范围在100~10000pF 为了提高放大器的稳定性，一般在反馈电容的两端并联一个大电阻Rf（约1010～1014Ω），以提供直流反馈。 1. 压电式加速度传感器 2. 压电式压力传感器 * 传感器与检测技术 传感与检测技术 武汉