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超衍射极限和近场光学显微镜 人类视野的拓展：望远镜和显微镜 * 几何光学 : 物点? 像点 物(物点集合) ? 像(像点集合) 波动光学 : 物点 ? 像斑 物(物点集合) ? 像(像斑集合) ( 经透镜 ) ( 经透镜 ) 瑞利判据: 两艾里斑中心的夹角等于每个艾里斑自身的半角宽度 物镜衍射极限 *显微镜的分辨本领和物镜数值孔径 l ??0 u0 ?y0 u’ ?y0 ?y’ 如何提高分辨本领？纳米分辨？ 提高分辨率的方法之一是提高N.A.，可通过油浸和使用广角透镜获得较大的数值孔径。不过N.A.最大为1.5左右，此时?y0m??0/2,这是传统光学显微镜的极限分辨率—半波长。 选择短波长光照明是提高显微镜分辨本领的另一个途径。 电子显微镜： 利用运动电子的具有波动性制造电子显微镜，因为电子的德布罗意波长极短，所以它有极高的空间分辨本领。 电子束发散角较小，u0~0.16rad； 电子波长取决于电子的加速电压： 2?106 5?10-2nm 1.2?10-2nm 104V 1.5?10-2nm 分辨本领 6?106 3.7?10-3nm 105V 有效放大率 电子波长 加速电压 1986年诺贝尔物理学奖一半授予德国柏林弗利兹-哈伯学院（Fritz-Haber-Institut der Max-Planck-Gesellschaft）的恩斯特·鲁斯卡（ErnstRuska，1906-1988)，以表彰他在电光学领域做了基础性工作，并设计了第一架电子显微镜；另一半授予瑞士鲁希利康（Rüschlikon）IBM苏黎世研究实验室的德国物理学家宾尼希（Gerd Binnig，1947-）和瑞士物理学家罗雷尔（Heinrich Rohrer，1933-)以表彰他们设计出了扫描隧道显微镜。 TECNAI F30场发射透射电镜 点分辨率：0.205 nm point at 300kV 线分辨率：0.102 nm line at 300kV 环境可控扫描电镜 ?特点:图像分辨率高对任何样品无需处理，可直接进行观察；进行动态反应过程的直接观察 。 电子显微镜下的病毒照片 用电子显微镜拍摄的苯分子照片 GaAs纳米晶的透射电镜照片和电子衍射图, 透射电镜下观察到的主要是GaAs纳米晶的的团聚体,同时,在团聚体中也可一观察到5-20 nm的GaAs颗粒,图b是图a对应的电子衍射图,可以看出,只有面心立方结构GaAs纳米晶的多晶衍射特征环. 使用短波长或电子束分辨率虽然提高，但丧失了光学探测无损的优势，并且无法直接获得光谱学信息。价格昂贵，系统复杂 以上方案均受制于衍射 能否突破衍射极限？ 1928年 ， Synge 设想 (1)在不透明的平板或薄膜上，制备出一个近乎10 nm的小孔，置于生物样品切片正下方，两者间隔近10nm (2)入射光通过平板小孔照明样品，透过样品的光被显微镜聚焦到光电池上。 (3)保持入射光源强度不变，在两个横方向上，以10nm的步距移动样品，使入射光点沿样品平面网格状扫描样品。 发展历史： 1928年，Synge 提出设想 1972年，Eric Ash等人在微波波段实现 1984年，Pohl等研制成功第一台扫描近场光学显微镜 1991年，Betzig等人采用光纤探针并结合剪切力测控探针--样品间距，SNOM真正实用。 技术难点：扫描和距离的控制 + 高质量纳米光孔制备 探针－样品间距控制 方法：隧道电流 针尖样品间力的相互作用 切变力探测 传统AFM的光杠杆技术 光学探针 探针孔径 SNOM分辨率 通光效率 SNOM信噪比 孔径越小，通光越低 典型探针孔径：50－100纳米 488 nm 热拉法： 优点：制备快、方便，表面光滑。 缺点：锥角小(10?),通光低,易碎。 NSOM 探针制备 化学腐蚀： 优点：制备快，锥角大20-30?，通光效率高 缺点：HF有毒，表面性质难控 镀膜： 微制备： 优点：可重复性好，可批量生产 缺点：制备工艺复杂 光学探针 探针－样品间距z 的反馈控制系统 驱动样品或针尖在x-y平面内运动的二维扫描系统 信号采集系统 图像处理系统 发展：近场光学显微镜种类和工作模式 (a)有孔针尖SNOM (b)无孔针尖SNOM (c)光子隧穿显微镜 按探针作用分为： 照明模式（I mode） 收集模式（C mode） 照明－收集模式（I-C mode） 按光信号获取方式不同： 反射模式 透射模式 荧光模式 工作模式：