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LIGA技术 机械工程学院 指导老师：222（教授） 学生：111 时间：2012/4/6 目录 LIGA技术简介 LIGA技术的工艺流程 X射线光源 LIGA掩膜 抗蚀光刻胶 影响LIGA图形精度的因素 准LIGA技术 LIGA技术简介 LIGA技术的特点与应用 LIGA是深结构曝光和电铸的代名词。LIGA是德文Lithographie(LI)、Galanoformung(G) 、 Abformung(A)三个词，即光刻、电铸和注塑的缩写,是20世纪80年代初德国卡尔斯鲁原子能研究所W.Ehrfeld等发明的的一种制造微型零件的新工艺方法。 用LIGA技术进行超微细加工有如下特点： 可制造有较大深宽比的微结构,这种工艺方法可以制作微器件的高度1000μm，可以加工横向尺寸为0.5μm,和高宽比大于200的立方微架构，取材广泛，可以是金属、陶瓷、聚合物、玻璃等；可制作复杂图形结构，精度高，加工精度可达0.1μm ；可重复复制，符合工业上大批量生产要求，成本低。 缺点是成本高，难以加工含有曲面、斜面和高密度微尖阵列的微器件，不能生成口小肚大的腔体等 . LIGA 技