7、光电式传感器分析.ppt

光电元件输出电压与光栅的位移量x成正弦函数关系 式中：U0为输出信号的直流分量； Um为输出信号幅值；W为栅距。 由上式可知，利用光栅可以测量位移量x的值。当位移量变化一个栅距W 时，其输出U变化一个周期，若对输出正弦信号整形成变化一个周期输出一个脉冲，则脉冲数与移过的栅距数是一一对应的 光电式传感器 3、细分技术 目的：精密测量中，为测量比一般栅距更小的位移量。 思路1：使光栅具有很高的刻线密度。 困难：技术工艺上难以实现 思路2：细分技术 在莫尔条纹变化一周期时，不只输出一个脉冲，而是输出若干个脉冲（一般是4个），以提高分辨率。 措施：机械细分和电子细分 光电式传感器 四、产品 位移 光电式传感器 量程：70mm～2170mm 精度：0.0005mm 量程：50mm～2200mm 精度：0.0001mm 光电式传感器 检测小物体 角位移 光电式传感器 光电式传感器 五、应用介绍 光栅在机床上的安装位置（2个自由度） 光电式传感器 光栅在机床上的安装位置（3个自由度） 数显表 光电式传感器 安装有直线光栅的数控机床加工实况 防护罩内为直线光栅 光栅扫描头 被加工工件 切削刀具 角编码器安装在夹具的端部 光纤传感器的基本结构 测量对象 测量对象 测量对象 测量对象 功能型 传光型 传光型 传光（拾光）型 光电式传感器 （2）根据光受被测对象的调制形式 形式：强度调制型、偏振调制、频率调制、相位调制。 1）强度调制型光纤传感器 是一种利用被测对象的变化引起敏感元件的折射率、吸收或反射等参数的变化，而导致光强度变化来实现敏感测量的传感器。有利用光纤的微弯损耗；各物质的吸收特性；振动膜或液晶的反射光强度的变化；物质因各种粒子射线或化学、机械的激励而发光的现象；以及物质的荧光辐射或光路的遮断等来构成压力、振动、温度、位移、气体等各种强度调制型光纤传感器。 优点：结构简单、容易实现，成本低。 缺点：受光源强度波动和连接器损耗变化等影响较大 。 光电式传感器 2）偏振调制光纤传感器 是一种利用光偏振态变化来传递被测对象信息的传感器。有利用光在磁场中媒质内传播的法拉第效应做成的电流、磁场传感器；利用光在电场中的压电晶体内传播的泡尔效应做成的电场、电压传感器；利用物质的光弹效应构成的压力、振动或声传感器；以及利用光纤的双折射性构成温度、压力、振动等传感器。这类传感器可以避免光源强度变化的影啊，因此灵敏度高。 3）频率调制光纤传感器 是一种利用单色光射到被测物体上反射回来的光的频率发生变化来进行监测的传感器。有利用运动物体反射光和散射光的多普勒效应的光纤速度、流速、振动、压力、加速度传感器；利用物质受强光照射时的喇曼散射构成的测量气体浓度或监测大气污染的气体传感器；以及利用光致发光的温度传感器等。 光电式传感器 4）相位调制传感器 其基本原理是利用被测对象对敏感元件的作用，使敏感元件的折射率或传播常数发生变化，而导致光的相位变化，使两束单色光所产生的干涉条纹发生变化，通过检测干涉条纹的变化量来确定光的相位变化量，从而得到被测对象的信息。通常有利用光弹效应的声、压力或振动传感器；利用磁致伸缩效应的电流、磁场传感器；利用电致伸缩的电场、电压传感器以及利用光纤赛格纳克（Sagnac）效应的旋转角速度传感器（光纤陀螺）等。这类传感器的灵敏度很高。但由于须用特殊光纤及高精度检测系统，因此成本高。 光电式传感器 光纤传感器的分类 传感器 光学现象 被测量 光纤 分类 干涉型 相位调制光线传感器 干涉（磁致伸缩） 干涉（电致伸缩） Sagnac效应 光弹效应 干涉 电流、磁场 电场、电压 角速度 振动、压力、加速度、位移 温度 SM、PM SM、PM SM、PM SM、PM SM、PM a a a a a ? ? ? 非 ? ? 干 ? ? 涉 ? ? 型 ? 强度调制光纤温度传感器 遮光板遮断光路 半导体透射率的变化 荧光辐射、黑体辐射 光纤微弯损耗 振动膜或液晶的反射 气体分子吸收 光纤漏泄膜 温度、振动、压力、加速度、位移 温度 温度 振动、压力、加速度、位移 振动、压力、位移 气体浓度 液位 MM MM MM SM MM MM MM b b b b b b b 偏振调制光纤温度传感器 法拉第效应 泡克尔斯效应 双折射变化 光弹效应 电流、磁场 电场、电压、 温度 振动、压力、加速度、位移 SM MM SM MM b,a b b b 频率调制光纤温度传感器 多普勒效应 受激喇曼散射 光致发光 速度、流速、振动、加速度 气体浓度