中 華 大 學 碩 士 論 文 - Chung-Hua University.PDF

中 華 大 學 碩 士 論 文 題目：麻田散鐵不銹鋼類鑽碳膜顯微組織 及其機械性質之研究 系 所 別：機械工程學系碩 士 班 學號姓名： 劉 安 鈞 指導教授：林 育 立 博 士 賴 宏 仁 博 士 中華民國 九十八 年 七 月 1 摘要 本研究是以 SUS440C 不銹鋼材做為基材，利用電弧離子鍍膜設 備 (Arc Ion Deposition)來進行類鑽碳膜(DLC)鍍膜研究，用以提升材料 表面硬度及耐磨耗特性。 研究中使用光學顯微鏡 (OM) 、場發射掃描式電子顯微鏡 (FE-SEM) 、場發射歐傑電子顯微鏡(FE-AES) 與拉曼散射光譜儀 (μ-Raman)來觀察與分析 DLC膜的顯微結構與表面化學組成。 DLC 鍍 膜層之機械性質檢測則是以奈米壓痕儀 (Nanoindenter)量測其微硬度 值與楊氏係數，以及進行奈米刮痕測試 (Nanoscratch Test) 了解DLC 鍍 膜之磨耗性能。 實驗結果顯示 DLC鍍膜層的總厚度可厚達約 500nm ~ 1100nm 左 右。利用表面化學組成之縱深分佈圖也可得知，此 DLC 鍍膜層具有 DLC/TiC/Ti/SUS440C 之多膜層結構。拉曼光譜儀結果顯示，DLC膜 層為一 sp2 3 3 (G band)與 sp (D band)之混和結構，其 sp 鍵 (D band)所佔 之百分比約有 47% ~ 74% ，D band 與 G band 之強度比(I /I )為 D G 0.57~1.15 。另外也發現在80℃與 144℃二種不同鍍膜溫度比較下，顯 示控制在較低之鍍膜溫度下(80℃) ，所得DLC 之 D band 結構比例 (74%) 比較高。 DLC 膜層的機械性質方面，