CVD制程工艺及设备介绍分析.pptVIP

P/C Chamber base Display Panel DC power UPS Turbo Pump Power Slit Valve N2 CDA Slit Valve Pump 垫片 Bellows 横向Bellows 横向汽缸 纵向汽缸 PC Vacuum Gauge 较大的Vacuum Gauge范围是0.001Torr到10Torr，精确度高且敏感 。 较小的那个是0.1到1000Torr，且二者之间有一个Isolation valve（隔离阀）。 20Torr Sensor（传感器）是用来检测腔内压力，当腔内压力小于20Torr时，才能把压力值反映到机台控制电路板上，进而打开控制气体的阀门，才会使制程气体流入到腔室，也就是相当于联动装置。 Sensor Isolation Valve 1000Torr Gauge 10 Torr Capacitance Gauge * Gas panel and Mainframe Control Tower Box Gas panel 气体从这里分开到各chamber Main frame control tower 为机台提供440V和208V电源 * Remote system RF Generator RF Generator RF Generator RF Generator RF Generator T/C pu