动力工程及仪器第3章要点分析.ppt

1 活塞式压电压力传感器 3.4.3. 电感式压力传感器 1、结构和工作原理 2．自感式压力传感器 图3-22 自感式压力传感器原理结构图 1—电感线圈 2—衔铁 3—测量膜片 4—隔离膜片 5—温度传感器 6、7—引线 8—非磁性套管 9—测量室 10—基座 按照传感器敏感元件结构形式的不同，可分为变气隙、变截面和螺管式三种，其中螺管式量程最大，虽然灵敏度低，但结构简单、便于制作，因而应用比较广泛。下面以螺管式压差传感器为例，简要介绍自感式压力传感器的工作原理。螺管式压差测量原理结构如图 3．互感式压力传感器 图3-23 差动变压器式压力传感器原理结构图 1—初级线圈 2、3—次级线圈 4—衔铁 5—骨架 变换原理:将被测量的变化转化为电容量变化 两平行极板组成的电容器,它的电容量为: + + + d S ? S,d 或ε发生变化时，都会引起电容的变化。 3.4.4. 电容式压力传感器 一)极距δ变化型 + + + + + + b)面积变化型 1角位移型 + + + 2 平面线位移型 3 柱面线位移型。 c) 介质变化型 电容式压力传感器分析举例 (1) 改变两极板的距离 输出的非线性失真不超过1%, 灵敏度提高一倍! 当 (2) 改变两极板间有效工作面积 当极板受被测机械量作用移动 后，两极板间电容量的变化为: ? (3) 改变介电常数 两