(魏晋隋唐考古)三角法传感器的设计实现.pdf

·56 · 工业仪表与自动化装置　　　　　　　　　　　　1998 年第 2 期 激光三角法测距传感器的设计与实现 朱尚明 合肥经济技术学院机电系　合肥: 230052 葛运建 中科院合肥智能机械研究所 　　摘要　本文介绍了激光三角法测距的基本原理, 利用新型位敏元件 PSD 设计并实现 了一种高分辨率、大量程的测距传感器, 并对不同条件下的测试结果进行了分析。 　　关键词　激光三角法　散射光斑　位敏元件 PSD 　算术运算电路 　　近年来, 电子学和光学技术的飞速发展使 [ 5 ] 点 。在图 1—1 中, 假设发射光束和接收透镜 得光电检测已成为自动化技术领域的一个热 光轴之间的夹角为 , 光电检测器件的受光面 点, 在机器人传感器及工业自动检测领域中应 和接收透镜光轴之间的夹角为 , 接收透镜在 用十分活跃[ 1 ] [ 2 ]。激光三角法测距传感器就是 基准距离处的物距和像距分别为 E 和 E ′, 不难 推出被测物体的距离变化 和光电检测器件 利用光电技术对距离进行非接触测量的一种新 型传感器[ 3 ] [ 4 ]。该传感器具有测量速度快、抗干 扰能力强、测量点小、适用范围广等优点, 目前 在国内外受到了越来越多的重视。 1　激光三角法测距的基本原理 　　激光三角法测距的基本原理是基于平面三 角几何, 如图 1—1 所示。其方法是让一束激光 经发射透镜准直后照射到被测物体表面上, 由 物体表面散射的光线通过接收透镜会聚到高分 辨率的光电检测器件上, 形成一个散射光斑, 该 散射光斑的中心位置由传感器与被测物体表面 之间的距离决定。而光电检测器件输出的电信 号与光斑的中心位置有关。因此, 通过对光电检 测器件输出的电信号进行运算处理就可获得传 感器与被测物体表面之间的距离信息。 图 1—1　 为了达到精确的聚焦, 发射光束和光电检 测器件受光面以及接收透镜平面必须相交于一 © 1995-2004 Tsinghua Tongfang Optical Disc Co., Ltd. All rights reserved. 1998 年第 2 期　　　　　　　　　　　　工业仪表与自动化装置 ·57 · 上散射光斑像点的位置变化 之间的关系为 位敏元件 是为适合位置、位移、距离等 PSD = [ ′ - ( + ) ] 精确实时测量而发展起来的一种新型半导体光 E sin E sin sin 　= ( 1 ) ( 2- ) ( ) 电敏感器件, 它利用半导体的横向光电效应来测 1—1 D D 式中　　 1= ( + ) 量入射光点的位置。 器件与电荷耦合器件 D E sin