材料研究法方法课件15 电子显微镜成分分析.pptVIP

第二章 电子显微镜 3 WDS与EDX的性能比较 4 电子显微镜对于样品制备的要求 各种元素的俄歇电子能量 作业 6 定量分析 WDS为有标样定量分析（绝对定量分析），分析得出的成分含量为真实含量，所以分析结果准确度高。 而EDX则主要为无标定量分析，最后的结果多采用归一化（相对定量分析）。 7 其他 WDS在检测时要求样品表面平整。EDS对样品表面没有特殊要求，适合于粗糙表面的分析。 EDS探头必须长期保持在低温状态，必须长期用液氮冷却。现在的最新技术有电制冷EDS 对金属和导电陶瓷等块状样品，只需尺寸允许，即可直接进行观察。 一般应先将试样用丙酮或酒精等进行清洗，必要时用超声波振荡清洗，或进行表面抛光。 对于不导电的样品，要进行处理，使之导电。 镀碳：分析的对象是成分。碳的X射线信号不影响正常的样品检测（Na11-U92）。 镀金或银：分析的对象是形貌。金（或者银）膜比碳膜比碳更加均匀，因此其形貌不失真。 样品台可放置的最大样品：直径2cm、高度1cm。 样品台可移动可转动。样品台还可以带有多种附件，如加热，冷却或拉伸等。 样品室要保持真空状态，作用是保证电子光学系统正常工作，防止受到样品污染，真空度一般要求10-4-10-5Pa。 环境扫描电镜（ESEM）：