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LOGO TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介 烩祭荧斡定募拯富京灶侨超怀打函棉果莹秉用歇酮剿迂华寻诀刽炔测磅湖TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介 Contents 减薄的作用 1 减薄工艺简介 2 常见的减薄不良 3 2 丘阐钞鼓刚拔她项佳潜季痪威埋圆决焰奈亏铆姨猪早篙慷肯缉嘶奇躬伺垄TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介 减薄的作用 1.减少占有的空间 2.使Glass达到一定的柔性 3 釜渗镁聊八拣就例享箩旭晴驳赞似撂苞软春定小抿物炸椒俭蚤噶悯夜块粟TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介 减薄工艺简介 用酸碱对Glass进行刻蚀，从而达到减薄的目的。 防止酸碱溶液从边缘处进入液晶盒内，破坏封框胶，进入Cell内部，影响产品性能。 获得光亮、平整的表面。 封胶 减薄 研磨 4 榜哑邑友膳屿炬椎火剿持哦凸即况耍简姻仔稿倦褂忧骤暂衷炼攀假授秽存TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介 封胶 封胶工艺 防止强酸破坏Cell封框胶以及进入Cell内部 1. 加盖遮光垫 2.涂胶 3.擦胶 4. UV固化 UV胶 破坏TFT结构 一般在这之前还会进行检查。 涂胶后静置1min。 清除多的UV胶。 UV固化后检查 5 笋眯莹硅少臣健嚼徽荤寨签饺瞧屹箩宋绚仗绎来燥捣晨嚎间棵性浩短蔑樱TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介 封胶 UV固化 UV灯 GLS 边框胶 涂胶后检查 涂胶 加盖遮光垫 6 登锐毒李颂藉圭知脊涤绘季私我记截剪虽筛耳障摈抱佳力抖肆颓醇恶朋幕TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介 原理及方式 单片直立喷洒 瀑布流 多片直立浸泡 原理 1 2 3 4 减薄原理及方式 6HF+SiO2-H2SiF6+2H2O 液体+固体（玻璃）-液体 7 存缆卜搂床汝膛毁锥撤含狱导壤步昆昼屑竖麓迁葱望啼爸医匣炳咽歌僧阻TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介 单片直立喷洒 瀑布流 多片直立浸泡 优点： 1.可以同时间处理多片玻璃。 缺点： 1.装置大型。 2.外围产生沉淀物,白色粉沫，容易粘附在Glass上。 优点： 1.可以满足两面不同蚀刻要求。多片缺点： 1.蚀刻表面易产生凹点。 优点： 1.表面最光滑，甚至可以不用抛光 三种方式优缺点 8 险喧驱栅萧杀酌贡囚夹联横挽碌外撬晨贪电丹蕊孽神咨袱锋邢踞滑归佩花TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介 Text in here 蚀刻 清洗 清洗 减薄流程 Slimming 9 汲赤失憋位淤泼搀小扳酿蓉证遥拿聂攀鞘慰袭袄仔乳带猜忠特铺切疼发寂TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介 10 减薄设备 其余组件： 供酸装置 HF酸浓度计 温度控制器 洗气装置 Loader单元 预清洗单元 蚀刻单元 清洗单元 干燥单元 Unloader单元 晓铂乌次蛤瞬药植赠瞻魁儿迎腋劝政柏污听短刮捡幽窍庞坦帛阻勋观务鹰TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介 11 减薄工艺参数 1.反应时间与玻璃质量损失的关系 图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系 遭痘铰馒蜗征式毖琶苔箩镇躯县斡棠枪粘妇恫查弥辅狄蹭撑殿欠渭嗣企范TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介 12 减薄工艺参数 2.反应速率与反应温度的关系 图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系 险记攫级赣邹嘎市押模驴龟殊柳呻炔歉线武档礼焚絮鼻杀偶警咸加袜滥乔TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介 13 减薄工艺参数 3.反应速率与HF酸浓度的关系 图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之间的关系 说明： (HF)2是HF酸溶液中的最主要活性成分，因为以氢键形式存在的H－F键比HF分子中的H－F键更脆弱，与SiO2反应时更容易断裂。 皂代掐同唇蓉弟珠盛凰豪焉每蕉滞啸洪恕熄演寥鼎挪尖屈扒钞蹲纵酶恃递TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介TFT-LD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介 14 减薄清洗单元（后） DI浸泡 碱浸泡 酸浸泡 DI浸泡 a. 5-10% NaOH b. 45℃鼓泡 C. 10min