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PQA Monitor组工作手册 离子风机测试操作指南 MS Wang 10/05/2004 PQA Monitor/PQA /MPIE/DGN2 一、工作概述 离子风机和BAR是生产过程中消除静电的重要工具和设备之一.但由于离子风机本身 结构设计上的局限,DC 和AC 类型的离子风机和BAR存在离子发射针氧化的问题,导 致正负离子数量不等,从而在其覆盖区域内产生了静电荷的积累,对产品优率产生不利 影响.为了保证所有的离子风机和BAR正常运行,就需要借助监控仪器CPM(Charged Plate Monitor)来测试它的性能.目前,我们主要测试它的两个性能参数:平衡电压和衰减 时间即B-V(Balance Voltage) ,D-T(Decay Time). 二、测试仪器设备及使用方法 1.仪器设备名称：CPM-156A /157 2. 仪器设备配件：CPM 机身、电荷平板、接地导线、配套电线、充电器等. 3. 测试仪器设备介绍(以CPM-156A为例)： 3.1仪器简介 The Trek Model 156A Charged-Plate 测试系统可在任何环境中提供定量准确的离子测试结果。 它使用一种新的charged-plate测试设计，利用一个高电阻和高电压跟随器来检测离子收集板 的平板电压。这种方法使测试容量独立于外部平板的外形尺寸，离子收集板的测试容量及尺寸都可根据测试的实际需要来设置。 3.2仪器面板 3.2.1仪器前面板 FULL CHARGE 显示灯：充电指示灯。 当电池充满后，该指示灯将点亮。充电完全的电池可以供仪器工作8小时。 MODE Switch: 工作模式转换开关。 仪器提供三种模式。 正延迟模式、负延迟模式和漂移模式。该转换开关与TEST/RESET 一起可以对仪器的起动电压和停止电压进行调节。 LOW BATTERY 指示灯：电池低压报警指示灯 当电池电量可供工作时间小于30min时，该指示灯将显亮。 POWER Switch:电源开关。 PLATE VOLTAGE Display: 平板电压显示屏 将粒子收集器上的电压以数字的形式显示。 DECAY TIME Display: 延迟时间显示屏 显示粒子收集器电压从起动电压下降到停止电压的延迟时间。 TEST/RESET Switch: 测试/设置按钮。 当仪器工作模式处于正延迟或负延迟模式时，该按钮设置的平板电压比起动电压高。当仪器工作模式处于漂移模式时，平板电压为0V。 3.2.2仪器后面板 OFFSET ADJUST：偏移调节。出厂已调好，用户不能自行调节。 CHARGER/SUPPLY Receptacle: 充电接口。 GROUND Jack: 接地点 OUTPUT MONITOR Connector: 带缓冲器的外部接口，它提供离子收集板的一个模拟的 低电压场。这个模拟电场电压为平板电压的1/200。 例如：如果平板电压为500V，那么OUTPUT MONITOR接口处的模拟电压为： 500V*1/200V=2.5V ION COLLECTING PLATE Receptacle: 粒子收集器接口处。 3.3仪器调节与操作 3.3.1漂移模块操作 在FLOAT横式时，156A监测平板上空气粒子之间的非平衡电压 1、将粒子平板收集器放置于测试区。 2、将仪器工作模式置于FLOAT模式下 3、将按下TEST/RESET开关，平板电压为“0”。将TEST/RESET转换开头放开后，平板电压将产生漂移，直到等于空气粒子非平衡电压。 3.3.2延迟模块操作 在处于(+)或(-)延迟模块时，156A显示粒子收集器从起动电压到程序设置的停止电压的放电 延迟时间。 1、将粒子平板收集器放置于测试区中 2、将仪器测试模式置于(-)或(+)延迟模块下 当处于(+)延迟模块时，平板电压为+， 当处于(-)延迟模块时，平板电压为-。 3、按下TSET/RESET 开关。 粒子平板收集器上的电压将大于程序设置的起动电压。当平板电压达到程序所设起动电压，延时器开始工作。当平板电压达到程序所设停止电压时，延时器停止工作。 3.3.3设置操作 156A可工作在三种模式下：正延迟模式、负延迟模式和漂移模式。 3.3.3.1起动电压设置： 1、关掉仪器电源 2、将MODE置于FLOAT模式下。 3、按下并保持TEST/RESET按钮。打开仪器电源。 4、此时在PLATE VOLTAGE显示屏上将显示字符“S”(表示起动电压START) 5、放开TEST/RESET按钮，在DECAY TIME显示屏上将显示此时的起动电压。 6、将MODE置于正延迟模式下。起动电压将以每次1V的速度开始跳增。 当M