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柱弧离子镀制备Ti_TiN_Ti(N,C)_TiC黑色硬质膜
真空科学与技术学报 第26卷第4期
OFVACUUMSCIENCEAND 2006年7．8月
JOURNAL TECHNOIDGY(CHINA)
马胜歌卜 姜翠宁2
，1．深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心深圳518029；、
＼2．深圳新南亚技术开发有限公司 深圳518029 ，
GrowthofBlackHardFilms
of吖驯田(N，C)／TiC
Ion
Arc
byCylindricalPlating
Ma
Shenggel”andJiangCuinin92
RD
CenterforSurfaceEngineering
／1．National ofChina，Shenzhen，518029，Ch／na；＼
Co．，脚．，Shenzhen，518029，‰，
＼2．Shenzhen删NanyaTechnologyDevelopment
AbstractMechanicalandmicrostmcturesofblackhardfilms OHindustrialscale
properties ofTi／TiN／Ti(N，C)／TiC，grownbycylinQi-
calarcion 011substrateswithdifferenthardnessourhomemade characterized．Ata
plating using apparatus．we糟tentatively depo—
preliminarily
sitionrateofO．78 of islandwasobservedOHthesulfac髓．ThetroubleisthatthekIr【lnessofthesubstratesand
t,Hn／h．highdensitylliⅡshaped
of results
tIlicknessthe films interferewiththemeasuredofitsmechanical
multilayerconsiderably properties．
Blackhard arcion films
Keywords films，Cylindrical
plating，TiC，Multilayer
于14％，亮度值三’小于43，沉积速率约为0．78珊n／h，表面分布较多液滴缺陷。膜的力学性能测试受基体硬度和膜层厚度影
响较大，基体越硬、膜层越厚，膜的硬度以及与基体的结合力测试结果越大。YW2硬质合金基体上制备0．82肿的黑色硬质膜
N。该设备和工艺已成功应用于工业生产。
显微硬度日v(25。)=3229，结合力为26．70
关键词黑色硬质膜柱弧离子镀TiC多层膜
中图分类号：TB43
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