硅单晶生长速度控制系统的研究.pdf

摘 要 论 文题 目: 硅 单 晶生长速度控制 系统 的研 究 学科专业 : 机械 设计及 理论 研 究 生 : 李 娟 签 名 : 导 师 : 刘 云霞 副教授 签 名 : 摘 要 硅 单 晶现 已广泛 用于 电子 、电气 、机 械 、仪表 、制造 、核动 力工业和 各 种 高技 术研 究 领 域 ，鉴 于 其 在 市 场 上 的广 泛 应 用 及 重 要 性 ，本 文 将 先 进 的计 算 机 控 制 技 术 应 用 于 硅 单 晶生 长 设 备 ，针 对 性地 提 出 了一 套 完 整 的硅 单 晶生 长控 制 系 统 方 案 。 本 文 首 先 简 要 介 绍 了硅 单 晶生 长 工 艺— 直 拉 法 的原 理 和 过 程 以及 单 晶炉 控 制 系 统 原理 。在此 基 础 上 ，提 出 了在双 CC D 摄 像 头测 量 晶体直 径 的基 础 上 ，实现 并级 全 闭 环 控 制 模 式 。通 过 两 个 CDC 测 出不 同阶段 的直 径 ，然 后 和 工 艺给 出值 比较 后 加 权 分 别 作 为温 度 和速 度 的设 定值 ，实现 全 闭环 控 制 。给 出 了速 度 和 温 度 串级控 制 后 并级 全 闭 环 控 制 的数 学模 型 ，采 用 工 业 上 常 用 的 PI D 控 制 策 略 ，并利 用 M AT L A B 的 sI M U L NI K 工 具 箱 进 行 了仿 真 ，然 后 和 单 闭环 控 制 系 统 仿 真 结 果 进 行 比较 。结 果 显 示 其 超 调 和 快 速 以及 稳 态 误 差 等 参 数 都较 其 它 系 统 优 越 。 本 控 制 系 统 是 基 于 A R M 92OT 内核 的嵌 入 式 芯 片 ，选 择 支 持 U SB 设 备 的 Li nux 操 作 系 统 ，根 据 控 制 系 统 的设 计 要 求 ，设 计 完 成 了相 关 的硬 件 电路 ，相 关 图像 采 集 系 统 和 图像 处 理 子 系 统 的程 序 方 案 。在 此 基 础 上 ，本 文 采 用 VC++ 6.0 语 言 编 写 了软 件 控 制 界 面 ，简 要 的介 绍 了控 制 软 件 流 程 。 本 文将 理 论 研 究 与 实 际开 发 有 机 地 结合 起 来 ，利 用 最 新 的嵌 入 式 系 统 开 发 平 台 ， 成 功 地 实现 对 硅 单 晶生 长 设 备 的机 械 设 计 及 控 制 ， 同时也 对 其 它 材 料 晶体 生 长 提 供 了 重 要 参 考 。鉴 于 硬 件 控 制 部 分 所 具 有 的通 用 性 ，本 文 的研 究对 于 任 意 单 晶生 长 设 备 的 研 发 都 具 有 一 定 的指 导 意 义 。 关键 词 : 单 晶炉 ; 图像 处理 、全 闭环 控 制 系统 ; CDC A b stfaC t T itle :T h e R e s ea rch o f Ve lo e iyt C o n tro lS y stem o f S ilico n M o n o c ry sat l G FO 场tI h M aj o r: M e e h a n ica lD e s ig n a n d T h e o ry N a m e : L iJ U a n 5ignature:痴 7、 S u P e rv is o r : A s s o c ia te P ro f二Y u n X ia L iu signature:赫 枷 共认