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常用半导体词汇 1 Active Area 主动区（工作区） 主动晶体管（ACTIVE TRANSISTOR ）被制造的 区域即所谓的主动区（ACTIVE AREA ）。在标准之MOS 制造过程中ACTIVE AREA 是由一层氮化硅光罩即等接氮化硅蚀刻之后的局部场区氧化所形成的，而由于利 用到局部场氧化之步骤，所以ACTIVE AREA 会受到鸟嘴（BIRD’S BEAK）之影响 而比原先之氮化硅光罩所定义的区域来的小，以长 0.6UM 之场区氧化而言，大 概会有0.5UM 之BIRD’S BEAK 存在，也就是说ACTIVE AREA 比原在之氮化硅光 罩所定义的区域小0.5UM 。 2 ACTONE 丙酮 1. 丙酮是有机溶剂的一种，分子式为 CH3COCH3。2. 性 质为无色，具刺激性及薄荷臭味之液体。3. 在 FAB 内之用途，主要在于黄光室 内正光阻之清洗、擦拭。4. 对神经中枢具中度麻醉性，对皮肤黏膜具轻微毒性， 长期接触会引起皮肤炎，吸入过量之丙酮蒸汽会刺激鼻、眼结膜及咽喉黏膜，甚 至引起头痛、恶心、呕吐、目眩、意识不明等。5. 允许浓度1000PPM。 3 ADI 显影后检查 1.定义：After Developing Inspection 之缩写2. 目的： 检查黄光室制程；光阻覆盖→对准→曝