导体测试技术实践总结.docVIP

一、实践目的 通过本次实习对半导体器件与集成电路性能参数的的测试原理、测试方法，本专业现状把握科技前进脉搏开阔专业视野，巩固专业思想，明确努力方向树立实事求1.1 室内温度要求 由于器件对周围环境的要求非常严格，所以测试的室内温度常年控制在25℃-5~25℃+3，必须定期对室内环境进行测试及监控。 1.2 防静电措施 随着技术的发展，集成电路元器件的线路密集、面积小，耐压降低，使得器件耐静电冲击能力的减弱，静电对元器件应用造成的危害越来越明显。近期美国公布了涉及10 多个行业的因静电造成的损失调查结果, 平均每年的直接经济损失高达200 多亿美元，仅电子工业部门每年因静电危害损坏电子元器件的损失高达100 多亿美元。人们一般认为只有CMOS类的晶片才对静电敏感，实际上，集成度高的元器件电路都很敏感，因此必须采取一定的静电防护措施。 静电的产生 静电的产生有多种，这里主要讲述与电子制程紧密相关的接触起电、感应起电、剥离起电、摩擦起电；其它如：粉体带电、液体静电、气体带电、飞沫带电、喷出带电在此不进行讲述。 ⑴ 接触起电：当两种物质接触时，其间距小于2.5×10-8cm 时在其间即发生电子的转移，界面两侧出现大小相等，符号相反的两种电荷； ⑵ 感应起电：它是导体在外部静电场作用下，在不同部位表面感应出不同符号的电荷； ⑶ 剥离起电：两个接触非常紧密的物质，在外力作用下突然分开，由于剥离的原因使物体带电； ⑷ 摩擦起电：由于摩擦生热，热使离子(电子)的活性增加，容易向其他物体转移。 静电发生源 人：人是最大的静电发生源。人在作业过程中的任何操作都可能使人的皮肤、头发、衣服等带上静电。 环境：地板、工作台面、仪器设备等都是静电发生源。 材料：生产中的一些原材料、生产辅助材料、包装材料等也可能是静电发生源。 静电对电子器件的危害 ⑴ 静电吸附灰尘，改变线路间的阻抗，影响产品的功能与寿命。 ⑵ 因电场或电流破坏元件的绝缘或导体，使元件不能工作(完全破坏)。 ⑶ 因瞬间的电场或电流产生的热，元件受伤，仍能工作，寿命受损。 静电放电损伤可分为2 类失效模式：突发性完全失效和潜在性失效。突发性完全失效是器件的一个或多个参数突然劣化, 完全失去规定功能的一种失效，如介质击穿、烧毁或永久性失效。潜在性缓慢失效是指对于某些集成电路虽然PN 结已受到ESD 损伤，但电路的参数退化并不明显，只给电路留下了隐患，它使该电路在以后的加电工作中参数退化逐渐加重，因此ESD 损伤具有潜在性和累积性的特点。 防静电材料 根据防静电材料的导电性能，可分为静电绝缘、耗散、导电、屏蔽四种： 静电绝缘材料：表面电阻率≥1012Ω； 静电耗散材料：表面电阻率105~1011Ω； 静电导电材料：表面电阻率103~105Ω； 静电屏蔽材料：表面电阻率103Ω； 静电的防护 防静电具体措施有很多，其总的原则：一是避免产生静电，即设法消除一切可能出现的静电源；二是消除静电，即是设法加速静电荷的泄放，防止静电荷的积累。所有的措施都是从这两点出发的。 ⑴ 接地地线 接地就是直接将静电通过一条导线的连接泄放到大地，这是防静电措施中最直接、最有效的方法。多数静电防护系统的效果，都依赖于接地地线的质量，静电接地技术是静电泄放中的主要环节。在工作区的静电地线应为静电专用地线，不得与其他地线共用。防静电接地是厂房基建工程中重要的指标之一。静电防护地线的接地电阻 4Ω。 ⑵ 控制静电生成环境 1) 湿度控制： 静电电压跟环境条件特别是湿度具有密切关系，在不致导致设备或器件腐蚀生锈或其它危害的前提下，尽量加大湿度。 2) 尘埃控制：保持清洁，减少尘埃，可以有效防止附着( 吸附) 静电。 ⑶ 防止人体带电 1) 佩戴防静电腕带：直接接触器件的人员必须带防静电腕带，腕带与人体皮肤应有良好接触，腕带系统对地电阻值应为1MΩ。 2) 穿戴防静电工作服和防静电鞋：进入静电工作区的人员和接触器件的人员必须穿防静电工作服和防静电工作鞋。 3) 佩戴防静电指套。 4) 严格禁止与工作无关的人体活动，减少摩擦。 5 ) 进行离子风浴：绝缘体往往是易产生静电的，对绝缘体静电的消除，用接地方法是无效的，通常采用的方法是离子中和。 ⑷ 建立防静电安全工作区 1) 接地：接地是最有效且经济的方法。将所有具有导电性的对象实施接地，并保持低的接地电阻，将累计在人体身上( 或其他物体上) 的电荷迅速向大地散逸，以避免发生静电危害事故。 2) 避免使用产生静电的材料：采用专门的防静电的塑料及橡胶(在塑料或橡胶中添加碳黑或碳等导电剂)来制作各种容器、包装材料、工作台垫、设备垫和地板等，避免因材料引起静电的积累。 3) 电子器件应在防静电工作台上操作：工作台面铺有防静电专用垫子并通过1 MΩ电阻接地。垫子上应有可转动