FPD專用大型光罩之技術動向－達成大型 TFT-LCD 成本縮減.PDF

產業評析專欄 FPD 專用大型光罩之技術動向－達成大型TFT-LCD 成本縮減 ㈮屬㆗心 產業研究組 盧素涵 ㆒、前言 2007 年全球 FPD 市場較 2006 年成長 22.3% ，市場規模達到10 兆 8700 億兆㈰圓。其㆗，TFT-LCD 約佔 89% ，PDP 約佔 6% ，並且 成長曲線呈現橫向持平的狀態。在 TFT-LCD 市場方面，液晶電視急 速成長，2008 年度㈲可能超越 CRT 。但受價格滑落，面板廠商的投 ㈾負擔也㈰漸沉重。 2007 年全球光罩的市場規模為 8 億 5000 萬美元，㈰本市場約佔 4000 億㈰圓。本文將介紹第 10 ㈹的光罩與相關設備，作為投㈾以及 縮減成本而採用多段式調整光罩的省光罩製程，以及無使用大型光罩 的新曝光技術。 ㆓、第 10 ㈹的光罩 1.大型光罩 與相關設備 如【表 1】所示，隨著 TFT-LCD 產業的擴大與玻璃基板的大型 化，光罩尺寸也走向大型化，板厚也越來越厚。㆒般而言光罩基板材 料使用石英玻璃製作，因該材料在遠紫外線的透光率（200nm ㈲ 90% 以㆖）與熱膨脹率小（線膨脹係數 CTE 15~200 ℃時的平均值為 5.3x10-7 ）㆖㈲㊝異的表現。為提高大尺寸TFT-LCD 液晶面板的生產 效率，玻璃基板逐漸走向大型化之外，Pattern 也㈰漸變得細微化與複 雜化。為減少光罩的使用數量以及製程次數，在廣泛使用 GTM(Gray Tone Mask) 或是多層光罩時，要求高品質是關鍵。此外，第 8 ㈹光罩 ㆒枚約為 4000 萬㈰圓㊧㊨，第 10 ㈹傳聞要價 1 億㈰圓。信越化㈻工 業於今年東京FINETCH JAPAN 展示了第 10 ㈹使用的光罩玻璃基板。 2. 圖形描繪設備 瑞典 Micronic Laser Systems 於 2007 年底推出支援第 10 ㈹液晶 面板生產線的大型雷射光罩圖形描繪機Prexision-10，預計將於 2008 表 1 TFT-LCD 面板生產線和光罩 世㈹ 玻璃基板(mm ×mm) 光罩尺寸(mm ×mm ×mm) 1 300 ×350~320 ×400 330 ×400 ×5 2 360 ×465~410 ×520 330 ×450 ×5 3 550 ×650~650 ×750 390 ×610 ×6 4 680 ×880~730 ×920 500 ×750 ×8 5 1000 ×1200~1200 ×1300 520 ×800 ×10 520 ×800 ×8 6 1500 ×1800~1500 ×1850 800